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    干涉滤波器、光学模块以及电子设备
    1.
    发明授权
    干涉滤波器、光学模块以及电子设备 有权

    公开(公告)号：CN103217732B

    公开(公告)日：2018-01-02

    申请号：CN201310012209.5

    申请日：2013-01-11

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 新东晋 ,  北原浩司 ,  松下友纪

    IPC: G02B5/28 ,  G01N21/25 ,  G01J3/28

    CPC classification number: G02B5/284 ,  G01J1/0488 ,  G02B5/0808 ,  G02B26/001

    Abstract: 本发明提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备。上述干涉滤波器包括：隔着间隙相互面对的第一反射膜和第二反射膜。第一反射膜和第二反射膜包括：Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜，其中，按原子数计，Ag‑Sm‑Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，Ag‑Bi‑Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，含有0.1％以上5.0％以下的Nd，上述Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。

    滤光器、光学模块及电子设备
    2.
    发明公开
    滤光器、光学模块及电子设备 无效

    公开(公告)号：CN104880817A

    公开(公告)日：2015-09-02

    申请号：CN201510090065.4

    申请日：2015-02-27

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 新东晋 ,  北原浩司 ,  坂下友树

    IPC: G02B26/00

    CPC classification number: G02B26/001

    Abstract: 本发明提供了滤光器、光学模块及电子设备，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；静电致动器(50)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，固定反射膜(44)被导电膜(38)和保护膜(45)夹着，导电膜(38)和保护膜(45)为相同材质、相同膜厚。并且，可动反射膜(35)被导电膜(32)和保护膜(36)夹着，导电膜(32)和保护膜(36)为相同材质、相同膜厚。

    光滤波器及其分析设备
    3.
    发明授权
    光滤波器及其分析设备 有权

    公开(公告)号：CN102193187B

    公开(公告)日：2016-12-14

    申请号：CN201110069658.4

    申请日：2011-03-17

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 新东晋 ,  山崎成二

    IPC: G02B26/00

    Abstract: 本发明涉及光滤波器及分析设备，该光滤波器的特征在于，具有：第1基板；第1反射镜，其被设置于所述第1基板；第1电极，其被设置于所述第1基板；第2基板，其与所述第1电极对置设置；第2反射镜，其被设置于所述第2基板，且与所述第1反射镜对置；以及第2电极，其被设置于所述第2基板，且与所述第1电极对置，所述第2基板在俯视图中，具有包围所述第2反射镜的槽，所述槽在剖视图中，具有第1侧面部、第2侧面部、底面部、位于所述第1侧面部与所述底面部之间的第1端部以及位于所述第2侧面部与所述底面部之间的第2端部，所述第1端部以及所述第2端部具有曲面。

    干涉滤光片、光模块及分析装置
    5.
    发明公开
    干涉滤光片、光模块及分析装置 无效

    公开(公告)号：CN102375173A

    公开(公告)日：2012-03-14

    申请号：CN201110237058.4

    申请日：2011-08-17

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 北原浩司 ,  新东晋

    IPC: G02B5/28 ,  G01N21/25

    CPC classification number: G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51 ,  G01N21/251 ,  G01N21/255

    Abstract: 本发明提供一种干涉滤光片、光模块及分析装置。该干涉滤光片的特征在于，包括隔着间隙对置的2个反射膜以及支撑所述反射膜的基板，其中，所述反射膜包含纯银膜及银合金膜，在所述基板上，从所述基板侧开始依次设置所述纯银膜及所述银合金膜，所述银合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜，或者是含有银(Ag)、铋(Bi)及钕(Nd)的Ag-Bi-Nd合金膜。

    滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法
    8.
    发明公开
    滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法 无效

    公开(公告)号：CN104880818A

    公开(公告)日：2015-09-02

    申请号：CN201510090491.8

    申请日：2015-02-27

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 坂下友树 ,  新东晋 ,  北原浩司

    IPC: G02B26/00

    CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B1/14 ,  G02B1/16

    Abstract: 本发明提供了滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；控制部(27)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，在固定反射膜(44)和固定基板(14)之间设置有导电性的导电膜(38)，在导电膜(38)上设置有反射膜端子(41)，在可动反射膜(35)和可动部(13b)之间设置有导电性的导电膜(32)，在导电膜(32)上设置有第三端子(17)。

    波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备
    10.
    发明公开
    波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备 无效

    公开(公告)号：CN104007546A

    公开(公告)日：2014-08-27

    申请号：CN201410055055.2

    申请日：2014-02-18

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 坂下友树 ,  新东晋

    IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01J3/02

    CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/51

    Abstract: 本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块以及电子设备，其具备：与第一反射膜（35）电连接的第一驱动电极（36），与第二反射膜（45）电连接的第二驱动电极（46），第一驱动电极（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜的厚度尺寸，第二驱动电极的厚度尺寸形成得大于第二反射膜的厚度尺寸，第一驱动电极在与第一反射膜连接的端部，具有厚度尺寸小于第一反射膜的厚度尺寸的第一阶梯部（37），第二驱动电极在与第二反射膜连接的端部具有厚度尺寸小于第二反射膜的厚度尺寸的第二阶梯部（47），第一反射膜从固定基板（30）的表面延伸至第一阶梯部的表面而形成，第二反射膜（45）从可动基板（40）的表面延伸至第二阶梯部的表面而形成。

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