电子装置的制造方法以及电子装置

    公开(公告)号:CN105936184A

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201610121176.1

    申请日:2016-03-03

    Abstract: 本发明提供一种能够在确保粘合可靠性的同时实现小型化的电子装置的制造方法以及电子装置。所述电子装置的制造方法经过如下的工序而制造电子装置,所述工序包括:在压力室形成基板(29)及振动板(31)或密封板(33)中的、各自的接合面上的结构体的高低差的最大值较小的一侧的振动板上涂布感光性粘合剂(43)的工序;通过加热而使感光性粘合剂预固化的工序;对预固化的感光性粘合剂进行图案形成的工序;以将结构体(凸块电极(40))及感光性粘合剂夹在两基板之间的状态而对两基板进行接合的工序。

    接合结构体及其制造方法、压电装置、液体喷射头

    公开(公告)号:CN106466966B

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201610694952.7

    申请日:2016-08-19

    Inventor: 吉池政史

    Abstract: 本发明提供一种能够在抑制电极层的断线的同时,提高密封板与压力室形成基板的接合力的接合结构体及其制造方法、压电装置、液体喷射头。在本发明的密封板与压力室形成基板以使通过照射光而固化的感光性粘合剂介于其间的状态被接合的接合结构体中,在所述密封板的一个面上突出设置有由弹性体构成的树脂部且形成有覆盖该树脂部的至少一部分的电极层,在所述压力室形成基板的密封板侧的面上形成有与电极层导通的导线电极层,在密封板或压力室形成基板中的任意一方基板的感光性粘合剂侧的面上,于和感光性粘合剂在基板接合方向上重叠的区域中,以使位置不同的方式而分别设置有对光进行反射的第一区域以及与该第一区域相比不易对光进行反射的第二区域。

    接合结构体及其制造方法、压电装置、液体喷射头

    公开(公告)号:CN106466966A

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201610694952.7

    申请日:2016-08-19

    Inventor: 吉池政史

    Abstract: 本发明提供一种能够在抑制电极层的断线的同时,提高密封板与压力室形成基板的接合力的接合结构体及其制造方法、压电装置、液体喷射头。在本发明的密封板与压力室形成基板以使通过照射光而固化的感光性粘合剂介于其间的状态被接合的接合结构体中,在所述密封板的一个面上突出设置有由弹性体构成的树脂部且形成有覆盖该树脂部的至少一部分的电极层,在所述压力室形成基板的密封板侧的面上形成有与电极层导通的导线电极层,在密封板或压力室形成基板中的任意一方基板的感光性粘合剂侧的面上,于和感光性粘合剂在基板接合方向上重叠的区域中,以使位置不同的方式而分别设置有对光进行反射的第一区域以及与该第一区域相比不易对光进行反射的第二区域。

    MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置

    公开(公告)号:CN107856415B

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201710840461.3

    申请日:2017-09-18

    Inventor: 吉池政史

    Abstract: 本发明提供能够将保护膜薄膜化以及降低制造成本的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件具备相对于第一基板隔开间隔而配置的第二基板和被夹持在第一基板与第二基板之间的被夹持部件,并且所述MEMS器件具有由第一基板、第二基板以及被夹持部件划分出的空间,第一基板具有配线,所述配线从作为与第二基板侧相反的一侧的面的第一面侧向作为第二基板侧的面的第二面侧延伸设置,并且由导体构成,配线的第一面侧的端部由被设置在第一面侧的第一保护膜所覆盖,配线的第二面侧的端部面对空间。

    电子装置的制造方法以及电子装置

    公开(公告)号:CN105936184B

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201610121176.1

    申请日:2016-03-03

    Abstract: 本发明提供一种能够在确保粘合可靠性的同时实现小型化的电子装置的制造方法以及电子装置。所述电子装置的制造方法经过如下的工序而制造电子装置,所述工序包括:在压力室形成基板(29)及振动板(31)或密封板(33)中的、各自的接合面上的结构体的高低差的最大值较小的一侧的振动板上涂布感光性粘合剂(43)的工序;通过加热而使感光性粘合剂预固化的工序;对预固化的感光性粘合剂进行图案形成的工序;以将结构体(凸块电极(40))及感光性粘合剂夹在两基板之间的状态而对两基板进行接合的工序。

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