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公开(公告)号：CN102557945A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110374282.8
申请日：2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0226 , C07C69/84 , G03F7/0233
Abstract: 本发明公开了一种新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物，所述新型酚化合物选自由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物、以及它们的组合。所述正性光敏树脂组合物具有优异的感光度、分辨率、图案形成性能、残留物除去性能、机械性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN102540725A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110374325.2
申请日：2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物，所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。在上述化学式1中，各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号：CN102531910A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110301200.7
申请日：2011-09-28
IPC: C07C205/42 , C07C201/12 , G03F7/039
CPC classification number: C07C205/42 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明提供了包括由化学式1表示的化合物的邻硝基苄酯化合物，和包含该邻硝基苄酯化合物的正型光敏树脂组合物。本发明还提供了一种利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号：CN102566275A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110378325.X
申请日：2011-11-24
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明披露了一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的重复单元的酚醛树脂；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及利用该正型光敏树脂制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的敏感度、可显影能力、膜残留率、和分辨率、以及较低的膜收缩比率。[化学式6]
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公开(公告)号：CN101198907B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200580050080.0
申请日：2005-11-22
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11
CPC classification number: G03F7/091 , G03F7/0387 , Y10S430/115
Abstract: 提供了一种用于平版印刷工艺的具有增透特性的硬掩膜组合物及其使用方法和用该方法制成的半导体装置。本发明提供的增透硬掩膜组合物含有：(a)含有第一聚合物和第二聚合物的聚合物混合物，该第一聚合物含有一种或多种如说明书中所述的单体单元，该第二聚合物含有芳基；(b)交联组分：和(c)酸催化剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101256315A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810007708.4
申请日：2008-02-29
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: C08G73/10 , G02F1/133723 , Y10T428/1023
Abstract: 本发明提供了一种适用于生产液晶显示装置的液晶取向剂。所述液晶取向剂含有选自聚酰胺酸和可溶性聚酰亚胺中的至少一种聚合物、非质子极性溶剂以及单乙二醇二甲醚或二丙二醇二甲醚。所述液晶取向剂具有令人满意的可印刷性。本发明还提供了使用所述取向剂形成的液晶取向层。所述液晶取向层非常均匀。
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公开(公告)号：CN103869612B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310298057.X
申请日：2013-07-16
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/033 , G03F7/105
Abstract: 本发明公开一种用于彩色滤光片的光敏树脂组合物及使用其的彩色滤光片，该光敏树脂组合物包含（A）着色剂，包含由以下化学式1表示的花青染料；（B）丙烯酸类粘合剂树脂；（C）可光聚合单体；（D）光聚合引发剂和（E）溶剂。在以下化学式1中，各取代基与具体说明中所限定的相同。[化学式1]
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公开(公告)号：CN101727006B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN200910179894.4
申请日：2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物，该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体，其包括：化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团；(B)第二聚苯并噁唑前体，其包括化学式3的重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂。
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公开(公告)号：CN102566274B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110349054.5
申请日：2011-11-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L23/296 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]。
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公开(公告)号：CN102109763B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201010597687.3
申请日：2010-12-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0755
Abstract: 本申请披露的内容涉及一种正性光敏树脂组合物，包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰胺酸、或它们的组合的树脂前体；(B)沸点从约210℃到约400℃范围且极性从约1D到约4D范围的溶解控制剂；(C)产酸剂；(D)硅烷基化合物；以及(E)溶剂。聚苯并噁唑前体包括由化学式1表示的重复单元，或由化学式1和2表示的两种重复单元，并且在至少一端具有热可聚合官能团。聚酰胺酸包括化学式50和51的重复单元。在化学式1和化学式2中，每个取代基与说明书中定义的相同。在化学式50和51中，每个取代基与说明书中定义的相同。
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