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公开(公告)号：CN101167153B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200580044926.X
申请日：2005-11-03
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 葛登·C·恩吉尔 , 爱德华·D·梅克英特 , 汤玛斯·A·夏德福
IPC: H01J37/304 , H01J37/317 , H01J37/244 , G01T1/29
CPC classification number: G01T1/29 , H01J37/304 , H01J37/3171
Abstract: 本发明提供用于测量一离子束的一轮廓的方法及其装置。该装置包括：一离子束电流感测器(124)的阵列(22)，每一离子束电流感测器回应于前述离子束的入射离子而产生一感测器讯号；一移动机构(112)，其用以使前述离子束电流感测器阵列相对于前述离子束沿一移动路径移动；以及一控制器(114)，其用以获取由前述离子束电流感测器在沿前述移动路径的多个位置处所产生的感测器讯号，其中前述所获取的感测器讯号表示前述离子束的一个二维轮廓。
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公开(公告)号：CN101167153A
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200580044926.X
申请日：2005-11-03
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 葛登·C·恩吉尔 , 爱德华·D·梅克英特 , 汤玛斯·A·夏德福
IPC: H01J37/304 , H01J37/317 , H01J37/244 , G01T1/29
CPC classification number: G01T1/29 , H01J37/304 , H01J37/3171
Abstract: 本发明提供用于测量一离子束的一轮廓的方法及其装置。该装置包括：一离子束电流感测器(124)的阵列(22)，每一离子束电流感测器回应于前述离子束的入射离子而产生一感测器讯号；一移动机构(112)，其用以使前述离子束电流感测器阵列相对于前述离子束沿一移动路径移动；以及一控制器(114)，其用以获取由前述离子束电流感测器在沿前述移动路径的多个位置处所产生的感测器讯号，其中前述所获取的感测器讯号表示前述离子束的一个二维轮廓。
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公开(公告)号：CN101584017B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200780050095.6
申请日：2007-12-03
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 唐纳·L·史麦特雷克 , 葛登·C·恩吉尔 , 拉杰许·都蕾
IPC: H01J37/02 , H01J37/317 , H01J37/05
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/026 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/152 , H01J2237/31701
Abstract: 揭示离子注入机中束缚电子的装置与方法。所述装置与方法包含：沿离子束路径(30)的至少一部分来定位的磁体的第一阵列(31)以及磁体的第二阵列(32)，所述第一阵列位于所述离子束路径的第一侧上且所述第二阵列位于所述离子束路径的第二侧上，所述第一侧与所述第二侧相反。所述第一阵列中的至少一磁体(302)可具有面向所述第二阵列中的相应磁体(302)的相反磁极的磁极，磁体的所述第一与第二阵列可在所述离子束路径中或附近共同产生勾形磁场以束缚电子。
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公开(公告)号：CN101584017A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200780050095.6
申请日：2007-12-03
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 唐纳·L·史麦特雷克 , 葛登·C·恩吉尔 , 拉杰许·都蕾
IPC: H01J37/02 , H01J37/317 , H01J37/05
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/026 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/152 , H01J2237/31701
Abstract: 揭示离子注入机中束缚电子的装置与方法。所述装置与方法包含：沿离子束路径(30)的至少一部分来定位的磁体的第一阵列(31)以及磁体的第二阵列(32)，所述第一阵列位于所述离子束路径的第一侧上且所述第二阵列位于所述离子束路径的第二侧上，所述第一侧与所述第二侧相反。所述第一阵列中的至少一磁体(302)可具有面向所述第二阵列中的相应磁体(302)的相反磁极的磁极，磁体的所述第一与第二阵列可在所述离子束路径中或附近共同产生勾形磁场以束缚电子。
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