公开(公告)号：CN101167153B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200580044926.X

申请日：2005-11-03

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 葛登·C·恩吉尔 ,  爱德华·D·梅克英特 ,  汤玛斯·A·夏德福

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  G01T1/29

CPC classification number: G01T1/29 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171

Abstract: 本发明提供用于测量一离子束的一轮廓的方法及其装置。该装置包括：一离子束电流感测器(124)的阵列(22)，每一离子束电流感测器回应于前述离子束的入射离子而产生一感测器讯号；一移动机构(112)，其用以使前述离子束电流感测器阵列相对于前述离子束沿一移动路径移动；以及一控制器(114)，其用以获取由前述离子束电流感测器在沿前述移动路径的多个位置处所产生的感测器讯号，其中前述所获取的感测器讯号表示前述离子束的一个二维轮廓。

公开(公告)号：CN101167153A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200580044926.X

申请日：2005-11-03

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 葛登·C·恩吉尔 ,  爱德华·D·梅克英特 ,  汤玛斯·A·夏德福

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  G01T1/29

CPC classification number: G01T1/29 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171

Abstract: 本发明提供用于测量一离子束的一轮廓的方法及其装置。该装置包括：一离子束电流感测器(124)的阵列(22)，每一离子束电流感测器回应于前述离子束的入射离子而产生一感测器讯号；一移动机构(112)，其用以使前述离子束电流感测器阵列相对于前述离子束沿一移动路径移动；以及一控制器(114)，其用以获取由前述离子束电流感测器在沿前述移动路径的多个位置处所产生的感测器讯号，其中前述所获取的感测器讯号表示前述离子束的一个二维轮廓。