公开(公告)号：CN101322217B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200680045586.7

申请日：2006-11-15

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 史费特那·B·瑞都凡诺 ,  彼德·L·凯勒曼 ,  维克多·M·本夫尼斯特 ,  罗伯特·C·林德柏格 ,  肯尼士·H·波什 ,  泰勒·B·洛克威尔 ,  詹姆士·史帝夫·贝福 ,  安东尼·雷诺

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明揭示一种缎带状离子束的成形技术。在一特定例示性实施例中，可将该技术实现为用于缎带状离子束的成形装置。装置可包含具有实质上为矩形的用于使缎带状离子束穿过的孔径的静电透镜，其中多个聚焦元件沿孔径的短边缘而定位，且其中每一聚焦元件经各别地偏压且定向以成形缎带状离子束。

公开(公告)号：CN101322217A

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200680045586.7

申请日：2006-11-15

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 史费特那·B·瑞都凡诺 ,  彼德·L·凯勒曼 ,  维克多·M·本夫尼斯特 ,  罗伯特·C·林德柏格 ,  肯尼士·H·波什 ,  泰勒·B·洛克威尔 ,  詹姆士·史帝夫·贝福 ,  安东尼·雷诺

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明揭示一种缎带状离子束的成形技术。在一特定例示性实施例中，可将该技术实现为用于缎带状离子束的成形装置。装置可包含具有实质上为矩形的用于使缎带状离子束穿过的孔径的静电透镜，其中多个聚焦元件沿孔径的短边缘而定位，且其中每一聚焦元件经各别地偏压且定向以成形缎带状离子束。