半导体晶片处理带卷装体、贴付装置及加工处理装置

    公开(公告)号:CN1892982B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200610100730.4

    申请日:2006-06-29

    CPC classification number: H01L21/67294

    Abstract: 本发明提供一种无需像以往那样访问主机,可对写入数据载体构件中的处理数据进行读取,基于读取的处理数据,在最佳条件下将半导体晶片处理带贴付到半导体晶片上的半导体晶片处理带贴付装置。该半导体晶片处理带贴付装置包括:具有可自由拆装地安装半导体晶片处理带卷装体的导出轴的导出装置;对写入半导体晶片处理带卷装体的数据载体构件中的处理数据进行读写的带数据读写装置;以及基于带数据读写装置读取的处理数据将从导出装置导出的半导体晶片处理带贴付到半导体晶片上的带贴付装置。

    薄片粘贴装置及粘贴方法

    公开(公告)号:CN102403196B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201110279056.1

    申请日:2011-09-06

    Abstract: 本发明提供一种薄片粘贴装置及粘贴方法,薄片粘贴装置(10)包括:支承机构(11),具有能够对半导体晶片(W)进行支承的支承面(21);导出机构(12),将粘合片(S)以面对支承面(21)的方式导出;凹部检测机构(13),对形成在粘合片(S)上的凹部(C)的位置进行检测;多关节机械手(15)和搬运臂(82),用于将半导体晶片(W)放置到支承面(21)上;以及按压机构(18),将粘合片(S)按压并粘贴到被支承机构(11)支承的半导体晶片(W)上。多关节机械手根据凹部检测机构的检测结果进行工作,从而以使凹部的中心位置与半导体晶片的中心位置保持一致的方式将半导体晶片放置到支承面上。

    薄片粘贴用工作台
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101213648A

    公开(公告)日:2008-07-02

    申请号:CN200680024440.4

    申请日:2006-06-26

    Abstract: 一种将粘接片(S)粘贴到半导体晶片(W)的上面时所使用的工作台(13),该工作台(13)由外侧工作台(51)和内侧工作台(52)所构成。外侧工作台(51)和内侧工作台(52),被设置成可分别通过单轴机器人(54、56)升降,同时,内侧工作台(52)被设置成在让外侧工作台(51)升降时,能够同时升降。

    薄片粘贴装置及粘贴方法

    公开(公告)号:CN102403196A

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN201110279056.1

    申请日:2011-09-06

    Abstract: 本发明提供一种薄片粘贴装置及粘贴方法,薄片粘贴装置(10)包括:支承机构(11),具有能够对半导体晶片(W)进行支承的支承面(21);导出机构(12),将粘合片(S)以面对支承面(21)的方式导出;凹部检测机构(13),对形成在粘合片(S)上的凹部(C)的位置进行检测;多关节机械手(15)和搬运臂(82),用于将半导体晶片(W)放置到支承面(21)上;以及按压机构(18),将粘合片(S)按压并粘贴到被支承机构(11)支承的半导体晶片(W)上。多关节机械手根据凹部检测机构的检测结果进行工作,从而以使凹部的中心位置与半导体晶片的中心位置保持一致的方式将半导体晶片放置到支承面上。

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