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公开(公告)号：CN112360894B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202011398370.7
申请日：2020-12-04
Applicant: 清华大学
IPC: F16D21/00 , F16D23/02 , F16D55/226 , F16H57/023
Abstract: 本发明提供的一种动力切换装置，包括传动轴、支撑机构、传动机构、两个运动机构和内、外离合器；其中，传动轴一端与传动机构输入端固定连接，传动轴另一端与车身动力源连接；支撑机构套设在传动轴上并与车身固定连接，支撑机构始终保持静止；传动轴通过传动机构同时与两个运动机构连接；内离合器和外离合器分别位于第一运动机构的内外侧；通过内离合器的闭合与分离，控制第一运动机构与支撑机构之间是否存在相对运动；通过外离合器的闭合与分离，控制传动机构与第一运动机构之间是否存在相对运动。本发明仅通过两个离合器实现了动力切换、刹车及被动姿态调整功能，且实现了在不同的动力输出机构之间进行动力切换。
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公开(公告)号：CN111252151A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010231526.6
申请日：2020-03-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出的一种车轮-履带混合行走机构，能够在圆形与三角形之间切换，包括机构主体和外侧履带；机构主体包括位于中心的主机架、位于主机架外围且由其支撑的轮边系统、位于主机架内外两侧且由其支撑的离合系统及位于主机架最外侧的传动系统；主机架包括传动轴，套设在该传动轴上的支撑架、多通道油电滑环和安装架，以及均布在该安装架上的三个变形推杆；轮边系统包括六对轮边件，三对限位板以及用于连接相邻两对轮边件且交替设置的三个第一连接组件和三个第二连接组件，在变形推杆的带动下，各连接组件可分别在所述限位板内反复移动。本发明的行走机构可在运动过程中同时变形，提高了复杂多变地形应用场景下的运行效率，且结构简单、可靠性高。
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公开(公告)号：CN115049621A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210690123.7
申请日：2022-06-17
Applicant: 清华大学
IPC: G06T7/00
Abstract: 本申请涉及一种微管缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品。通过获取待测半导体晶圆的待检测图像，对待检测图像进行滤波处理，得到滤波处理后的第一检测图像，进一步对第一检测图像进行自适应阈值处理，得到目标检测图像，从而根据目标检测图像以及预设的分类算法，确定待测半导体晶圆的微管缺陷。本方法在获取待测半导体晶圆的待检测图像后，采用图像处理算法，对待检测图像进行分析处理，从而识别待测半导体晶圆的微管缺陷，替代传统的人工利用显微镜目检的识别方式，提高了半导体晶圆的微管缺陷准确率和检测效率，降低检测成本。而且，在对半导体晶圆的微管缺陷的微管缺陷进行检测时，不会对半导体晶圆造成二次破坏。
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公开(公告)号：CN114878592A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210587689.7
申请日：2022-05-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及晶圆划伤扫描的检测方法，包括步骤一、预设扫描路径，扫描路径包括相互交叉的两组移动线组，每一组移动线组包括相互平行的多条移动线路；步骤二、控制扫描装置与晶圆沿预设扫描路径相对运动，以使扫描装置沿预设扫描路径对晶圆进行扫描。本申请中每一组移动组件中最多只有一条移动线路位于晶圆的直径上，其余移动线路均为晶圆的弦。相对于其他扫描路径，例如，相同数量的移动线路的米字型扫描路径，米字型扫描路径中的所有的移动线路均为晶圆的直径。由于弦长小于直径的长度，因此，相对于米字型扫描路径，本申请中的扫描路径的总长较短，即在扫描速度不变的情况下，采用本实施例的扫描路径时长较短，因此检测效率较高。
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公开(公告)号：CN118671955A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410656190.6
申请日：2024-05-24
Applicant: 清华大学
IPC: G02B21/24
Abstract: 本申请涉及一种光束探测自动对焦装置和方法。所述装置包括激光组件、光学组件、成像组件和控制器；所述控制器分别与所述激光组件和所述成像组件连接；所述激光组件，用于发射符合预设条件的第一激光光束；所述光学组件，用于对所述第一激光光束进行调整，并将调整得到的第二激光光束通过显微镜的物镜入射到样品，以及将从所述样品返回的第三激光光束传输到所述成像组件；所述成像组件，用于根据所述第三激光光束生成对焦信号；所述控制器，用于根据所述对焦信号输出控制信号，其中，所述控制信号用于控制所述物镜或所述显微镜的载物台移动，以完成对焦。采用本装置能够在不同工况条件下快速切换焦点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111252151B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202010231526.6
申请日：2020-03-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出的一种车轮‑履带混合行走机构，能够在圆形与三角形之间切换，包括机构主体和外侧履带；机构主体包括位于中心的主机架、位于主机架外围且由其支撑的轮边系统、位于主机架内外两侧且由其支撑的离合系统及位于主机架最外侧的传动系统；主机架包括传动轴，套设在该传动轴上的支撑架、多通道油电滑环和安装架，以及均布在该安装架上的三个变形推杆；轮边系统包括六对轮边件，三对限位板以及用于连接相邻两对轮边件且交替设置的三个第一连接组件和三个第二连接组件，在变形推杆的带动下，各连接组件可分别在所述限位板内反复移动。本发明的行走机构可在运动过程中同时变形，提高了复杂多变地形应用场景下的运行效率，且结构简单、可靠性高。
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公开(公告)号：CN114878592B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202210587689.7
申请日：2022-05-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及晶圆划伤扫描的检测方法，包括步骤一、预设扫描路径，扫描路径包括相互交叉的两组移动线组，每一组移动线组包括相互平行的多条移动线路；步骤二、控制扫描装置与晶圆沿预设扫描路径相对运动，以使扫描装置沿预设扫描路径对晶圆进行扫描。本申请中每一组移动组件中最多只有一条移动线路位于晶圆的直径上，其余移动线路均为晶圆的弦。相对于其他扫描路径，例如，相同数量的移动线路的米字型扫描路径，米字型扫描路径中的所有的移动线路均为晶圆的直径。由于弦长小于直径的长度，因此，相对于米字型扫描路径，本申请中的扫描路径的总长较短，即在扫描速度不变的情况下，采用本实施例的扫描路径时长较短，因此检测效率较高。
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公开(公告)号：CN115753676A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211402624.7
申请日：2022-11-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种瓶内气体浓度检测系统。所述系统包括：探测单元、信号处理单元和信号采集反演单元。探测单元用于输出激光光束，控制激光光束倾斜且会聚射入待测样品，并检测激光光束经过待测样品后的光强信号，将光强信号转化为电压信号后，将电压信号传输至所述信号处理单元。信号处理单元用于在接收电压信号后，对电压信号进行信号处理，得到样品信号，并向信号采集反演单元发送样品信号。信号采集反演单元则用于在接收样品信号后，根据样品信号，确定待测样品内的待测气体的浓度。采用本系统能够提高测量精度，使单次测量的精度满足气体检测需要，进而提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN114899121A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210587674.0
申请日：2022-05-27
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明涉及晶圆划伤的检测装置，包括上位机、移动平台、暗场光源、扫描单元以及自动对焦单元，移动平台用于承载晶圆，且与上位机电连接，上位机用于控制移动平台移动。暗场光源用于发射暗场光束至移动平台。扫描单元位于晶圆反射的暗场光束的光路上，扫描单元与上位机电连接。自动对焦单元位于晶圆反射的暗场光束的光路上，自动对焦单元与上位机电连接。暗场光束有利于识别晶圆上的细长划痕。自动对焦单元用于通过上位机控制移动平台或者扫描单元移动，以使得晶圆位于扫描单元的焦点上。使用自动对焦单元在检测过程中进行实时对焦处理，从而能够保证扫描单元拍摄图像清晰，保证缺陷的检出。
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公开(公告)号：CN113153987B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202110378048.6
申请日：2021-04-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出了一种双离合变速制动辅助装置，包括传动机构、行星齿轮机构、连接机构、支撑机构和内、外离合机构；传动机构包括固接的凸台和传动轴；连接机构套设在传动轴上；行星齿轮机构包括沿传动轴设置的两个行星齿轮组件，各行星齿轮组件均分别包括固定套接于传动轴的行星架、位于行星架内侧且与传动轴转动连接的太阳轮、与太阳轮啮合的若干行星齿轮和与各行星齿轮啮合的齿圈，两太阳轮固接，内侧行星架与外侧太阳轮固接，内侧齿圈通过制动器与支撑机构连接，动力由外侧齿圈输出；支撑机构位于行星齿轮机构内侧；内、外离合机构分别安装于连接机构的内侧与凸台之间和连接机构外侧与支撑机构之间。本发明可实现不同减速比的输出和辅助制动。
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