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公开(公告)号：CN1818665A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510007632.1
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种微型膜片式加速度传感器的本体以及制备方法，该本体包括硅膜片和上盖、下盖，金电极和引线封装结构；其中在硅膜片上、下表面中心设置一圆形质量块；在硅膜片的周边有一凸起圆环，在凸起圆环内侧和质量块外侧相对称处设置两对一维或二维纳米材料；上盖或下盖的周边有一凸起圆环，并在上盖或下盖内的中心处设一凸起保护块，在膜片和纳米敏感元件上制作N对金电极和引线；膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起，并采用压焊工艺引出导线。本发明的制造工艺包括在离心力或电极电场诱导下，采用化学气相沉积工艺实现纳米材料在微结构上的定向、可控生长。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1818664A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510007630.2
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种基于纳米材料的微型膜片式加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；并把一维或二维纳米材料连接成测量电桥；所述的信号处理电路包括：整流稳压电路、载波振荡器、测量电桥和交流载波放大器。加速度(力)信号作用在质量块上，使膜片发生应变，利用膜片上的纳米材料测出应变，利用全桥检测方法，将材料应变转化为电信号，再通过一系列的信号处理过程，从而得到被测加速度信号的数值。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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公开(公告)号：CN100427954C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200510007630.2
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种基于纳米材料的微型膜片式加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；并把一维或二维纳米材料连接成测量电桥；所述的信号处理电路包括：整流稳压电路、载波振荡器、测量电桥和交流载波放大器。加速度(力)信号作用在质量块上，使膜片发生应变，利用膜片上的纳米材料测出应变，利用全桥检测方法，将材料应变转化为电信号，再通过一系列的信号处理过程，从而得到被测加速度信号的数值。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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公开(公告)号：CN101020892A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710064145.8
申请日：2007-03-02
Applicant: 清华大学
IPC: C12M1/42
CPC classification number: C12M35/02
Abstract: 本发明涉及一种用于单细胞电穿孔的纳电极和系统，该纳电极由一根本体，所述的本体头部具有尖端形状，和在该本体的其余部分覆盖的绝缘层，以及固定在所述本体另一端的一根电极引线组成；其尖端状部分的直径为1nm－10μm×长度1nm－100μm。本发明的系统包括纳电极和微电极，所述的微电极安装在一根玻璃微吸管内，该玻璃微吸管管口直径为100nm－100μm；纳电极和微电极分别安装在2台微操作器上，该纳电极和微电极的电极引线分别与电穿孔信号发生器电连接，其纳电极的尖端和微电极前端与培养液中的细胞组成单细胞阻抗检测电路；玻璃微吸管在微操作器的控制下可实现对单个细胞的捕捉；单细胞阻抗检测电路可实现对单细胞基因电转导过程的实时监控。本发明提出的这种单细胞电穿孔系统具有场强集中、微区、低电压、低发热量、对细胞损伤小等特点。
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公开(公告)号：CN101555450A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200810103558.7
申请日：2008-04-08
Applicant: 清华大学
CPC classification number: C12M35/04
Abstract: 本发明涉及一种实现对单细胞或小组织内部的注射和吸引的超声装置，包括穿刺微针本体的末端通过过渡接头与变幅杆固定；一超声换能器由一段中心开有螺孔的金属圆柱，一段加工出螺钉的金属圆柱，2压电陶瓷圆环与3片电极相间排列，加装在金属圆柱之间，通过螺钉连接成一体；第一金属圆柱的另一端面设一凸台，橡胶导管一端套在凸台上，该橡胶导管的另一端与压力调节部件连接；功率正弦信号发生器与所述的电极片电连接；超声换能器一端相连的变幅杆。本发明的超声装置，适于操作植物细胞或卵细胞类具有坚固细胞壁或具有弹性细胞膜，能避免细胞膜和细胞骨架的大幅度变形对细胞本体造成的伤害，提高穿刺成功率，实现向胞内注射外源物质或吸引胞内或组织内部组分。
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公开(公告)号：CN100451657C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200510007632.1
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种微型膜片式加速度传感器的本体以及制备方法，该本体包括硅膜片和上盖、下盖，金电极和引线封装结构；其中在硅膜片上、下表面中心设置一圆形质量块；在硅膜片的周边有一凸起圆环，在凸起圆环内侧和质量块外侧相对称处设置两对一维或二维纳米材料；上盖或下盖的周边有一凸起圆环，并在上盖或下盖内的中心处设一凸起保护块，在膜片和纳米敏感元件上制作N对金电极和引线；膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起，并采用压焊工艺引出导线。本发明的制造工艺包括在离心力或电极电场诱导下，采用化学气相沉积工艺实现纳米材料在微结构上的定向、可控生长。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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