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公开(公告)号：CN118800651A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202310400557.3
申请日：2023-04-14
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/288 , B82Y40/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明提供一种在芯片目标电极上形成复合金纳米结构的制备方法及芯片。包括：ZnO纳米阵列结构制备过程和复合金纳米结构制备过程：ZnO纳米阵列结构制备过程，包括：在第一溶液环境下，通过第一电场控制方法在芯片的目标电极上制备ZnO纳米阵列结构；复合金纳米结构制备过程，包括：在ZnO纳米阵列结构上进行镀金，形成复合金纳米结构，复合金纳米结构包括依次层叠设置的第1层金纳米结构至第N层金纳米结构，N为大于等于2的正整数；制备第1层金纳米结构至第N层金纳米结构时，在镀金溶液环境下采用镀金电场控制方法进行镀金。能够在目标电极表面形成多尺度的复合金纳米结构，极大地增加了电极表面的有效面积，并形成纳米功能结构。
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公开(公告)号：CN118236047A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202211668288.0
申请日：2022-12-23
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/0205 , A61B5/00 , G01K13/20
Abstract: 本发明提供一种柔性脉搏传感器、生理信号监测装置以及血压监测系统，其中柔性脉搏传感器，包括：柔性热敏电阻式传感器、第一弹性层和第二弹性层；柔性热敏电阻式传感器包括：柔性基底、检测电阻和补偿电阻；检测电阻和补偿电阻布置于柔性基底的同一侧；第一弹性层位于柔性热敏电阻式传感器顶部；第二弹性层位于柔性热敏电阻式传感器底部；第一弹性层和第二弹性层为弹性敏感膜，第一弹性层和第二弹性层的导热系数随压力发生变化；检测电阻用于通过热场检测压力变化；补偿电阻用于检测应变和温度变化，对检测电阻进行应变补偿和温度补偿。本发明提高了脉搏压力测量的灵敏度，提高了对包括血压在内的生理信号监测的准确度。
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公开(公告)号：CN104181084B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201410425996.0
申请日：2014-08-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种气溶胶传感器，包括：气溶胶入口、气溶胶带电单元、沉积单元、电荷检测单元、控制单元、信号处理单元、气溶胶出口；所述气溶胶入口、所述气溶胶带电单元、所述沉积单元、所述电荷检测单元、所述气溶胶出口依次连接，所述电荷检测单元与所述信号处理单元相连，所述控制单元分别与所述沉积单元和所述电荷检测单元相连；所述电荷检测单元包括至少一个电荷检测子单元，所述电荷检测子单元依次连接，每个所述电荷检测子单元分别与所述控制单元相连，每个所述电荷检测子单元分别与所述信号处理单元相连。通过本发明提供的一种气溶胶传感器，能够实现较宽粒径测量范围的气溶胶颗粒的测量，同时易于小型化。
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公开(公告)号：CN106056212A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610354206.3
申请日：2016-05-25
Applicant: 清华大学
IPC: G06N3/063
CPC classification number: G06N3/063
Abstract: 本发明涉及一种人工神经网络计算核，包括：一路由器模块、至少一神经元计算模块、至少一核控制器，所述神经元计算模块与所述核控制器一一对应。所述路由器模块接收并解析外部输入数据，并将解析后的地址信息和轴突值信息送入对应的神经元计算模块；以及将所述神经元计算模块输出的神经元计算结果发送至目标地址，并向该神经元计算模块对应的核控制器发送本帧数据处理完成标志。所述神经元计算模块用于进行神经元计算，并将神经元计算结果发送至所述路由器模块。所述核控制器在接收到所述本帧数据处理完成标志后进入下一神经元周期。利用本发明提供的人工神经网络计算核可以实现多个人工神经网络计算核的组网。
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公开(公告)号：CN104523276A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410815455.9
申请日：2014-12-23
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/087
CPC classification number: A61B5/0878 , A61B5/087 , A61B5/6819
Abstract: 本发明提供了一种呼吸监测鼻贴，包括柔性流量传感器、柔性测控电路、柔性无线充电电池和柔性封套；所述柔性流量传感器贴覆在所述柔性封套表面；所述柔性测控电路和所述柔性无线充电电池封装在所述柔性封套内；所述柔性流量传感器，用于实时监测使用者的呼吸气流；所述柔性测控电路包括信号调理电路和无线通信模块；所述信号调理电路，用于对所述柔性流量传感器进行信号采集和处理，并调节所述柔性流量传感器的工作参数。本发明能够实现无导管式呼吸流量监测，相比于传统的导管监测方式，提高了呼吸监测的舒适度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101614753A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200810115672.1
申请日：2008-06-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种流场传感器，其特征在于，包括集成有调理电路的电路板，以及制作在此电路板上的敏感材料层，所述敏感材料层电连接至所述调理电路；本发明可以利用标准电路板工艺制作传感器调理电路和传感器电极，使得传感器的制造过程简单，极大地降低了传感器的制造成本；传感器的体积小、质量轻，可以很容易地安装在物体表面，且容易实现阵列化；封装简单，热容量小、传感器具有较快的响应速度，散热量小，从而降低了系统的功耗；以电路板为基底的制造方案使得传感器可直接集成在调理电路上，极大地提高了整个系统的集成度。
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公开(公告)号：CN100428500C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200610000995.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 清华大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及的基于一维半导体纳米结构的光电传感器和制作方法，包括：一单晶硅片式基体；依次通过热氧化法生长于单晶硅片式基体表面上的二氧化硅层和采用低压化学气相沉积法或等离子增强化学气相沉积法淀积在二氧化硅层表面上的氮化硅层；二氧化硅层和氮化硅层构成绝缘层；还包括：通过光刻/离子刻蚀法制备于绝缘层表面上的由第一梳式电极和第二梳式电极构成的梳式电极对；电极对的多梳齿端相对放置，之间组装有一维半导体纳米结构；有益效果：微电极对的制作为标准微加工工艺，方法简单；一维半导体纳米结构尺寸小，表面积/体积比大，光电效率高，且简单的电泳组装可实现批量生产；该光电传感器尺寸小，灵敏度高，能用于光检测、光开关等。
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公开(公告)号：CN100371716C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200410091707.4
申请日：2004-11-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及的微槽道流体角速率传感器，包括一个封闭的腔体，腔体分上、下两部分，上腔体的顶部为周边固定支撑的驱动薄膜，下腔体由内槽、外环槽以及连通内外槽的两两对称分布的若干个通槽组成，各通槽为小内口和大外口结构；所说驱动薄膜上设置驱动元件；各通槽出口处分别对称设置一对热敏元件，以及与热敏元件相连的检测电路，检测电路的输出为角速率输出；本发明为具有结构简单、无活动质量块、基于微流体运动的微机电角速率传感器。
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公开(公告)号：CN1805156A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610000995.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 清华大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及的基于一维半导体纳米结构的光电传感器和制作方法，包括：一单晶硅片式基体；依次通过热氧化法生长于单晶硅片式基体表面上的二氧化硅层和采用低压化学气相沉积法或等离子增强化学气相沉积法淀积在二氧化硅层表面上的氮化硅层；二氧化硅层和氮化硅层构成绝缘层；还包括：通过光刻/离子刻蚀法制备于绝缘层表面上的由第一梳式电极和第二梳式电极构成的梳式电极对；电极对的多梳齿端相对放置，之间组装有一维半导体纳米结构；有益效果：微电极对的制作为标准微加工工艺，方法简单；一维半导体纳米结构尺寸小，表面积/体积比大，光电效率高，且简单的电泳组装可实现批量生产；该光电传感器尺寸小，灵敏度高，能用于光检测、光开关等。
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公开(公告)号：CN1784109A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200410096603.2
申请日：2004-12-02
Applicant: 清华大学
IPC: H05H3/02
Abstract: 本发明涉及一种冷原子束产生方法和装置，该方法包括在抽真空的真空室内，加热热原子源，在真空室中形成相应的原子饱和蒸汽压气氛；采用三维MOT对热原子进行冷却，冷却到200μk以下，并被捕获形成冷原子云团；通过三维MOT中开小孔的四分之一波片反射镜，而使得在该方向上激光辐射压力不平衡，使冷原子沿此方向出射；在冷原子束出射方向上，还置有载有彼此电流方向相反的四根成锥形排列的直导线，从而原子出射时将在磁场的作用下，不会沿横向膨胀而向前射出；便得到了出射速度低的、通量较大的、横向速度非常小的连续冷原子束；同时在冷原子束的出射方向上，设置有与原子束垂直的激光束，用于原子束的态制备，实现态一致的出射冷原子束。
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