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公开(公告)号：CN1183557A
公开(公告)日：1998-06-03
申请号：CN97122914.7
申请日：1997-11-25
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
IPC: G01N31/00
CPC classification number: G01N33/0004
Abstract: 快速确定气体源杂质浓度的方法。测量设备通过具有配置在气体出口上游的入口的采样管与源气相连。烘烤采样管,结束时其中杂质的浓度分布包含2个区。第1区,气体入口延伸到下游一个点,杂质的汽相浓度小于采样管气体的杂质汽相浓度。第2区中,第1区延伸到出口,杂质汽相浓度大于采样管气体的杂质汽相浓度。一种快速确定把气体供给使用点的气体分配系统中杂质浓度的方法。适用于半导体制造业,测量供给处理设备的气体的杂质。
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