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公开(公告)号：CN109462141A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811031724.7
申请日：2018-09-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 量子级联激光光源的制造方法包括：准备半导体层叠体(20)的工序；形成一对第一挖入部(41、42)和以被该一对第一挖入部(41、42)夹持的方式形成的脊部(30)的工序；形成沟道结构(51、52)和以在与脊部(30)之间夹着沟道结构(51、52)的方式形成的周缘部(61、62)的工序；以与第一区域(29a)相接的方式形成电极图案(81)并且以与第二区域(22a)相接的方式形成电极图案(82)的工序；将结晶生长面侧固定于支承基板(91)的工序；去除Fe掺杂(半绝缘)InP单晶基板(21)的工序；固定Si基板(93)的工序；和剥离支承基板(91)的工序。
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公开(公告)号：CN116581637A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310082680.5
申请日：2023-02-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/02253 , H01S5/02315 , H01S5/024 , H01S5/0239 , H01S5/00
Abstract: 激光模块具备QCL元件、包含移动衍射光栅的衍射光栅单元、使来自QCL元件的端面的出射光及从移动衍射光栅向QCL元件反馈的光通过的第一透镜、使从QCL元件出射的太赫兹波通过的第二透镜、第一保持架、以及封装。第一保持架具有：载置QCL元件的支承面、和与上述支承面连接并且在谐振方向上与第一透镜相对的侧面。从沿着谐振方向的上述侧面和上述支承面的交点至上述端面的距离小于沿着谐振方向的上述交点和第一透镜的距离。
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公开(公告)号：CN113196598B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201980083301.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/18
Abstract: 本实施方式所涉及的发光元件抑制光输出效率的降低并且输出清晰的光学图像。该发光元件具备基板、发光部、将基板与发光部接合的接合层。发光部具有被第一电极和第二电极夹持的半导体叠层，半导体叠层包含相位调制层。相位调制层具有基本层和多个差异折射率区域，并且包括与第二电极一致或包含整体的大小的第一区域和该第一区域以外的第二区域。位于第二区域内的各差异折射率区域的重心按照特定的排列条件配置于基准面上。从半导体叠层的表面输出的光为单一光束，关于从基板至半导体叠层的表面的第一距离和从基板至半导体叠层的背面的第二距离，沿着基板上的特定方向变动的第一距离的变动量比第二距离的变动量小。
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公开(公告)号：CN115668670A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180038606.2
申请日：2021-05-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一个实施方式的光学器件包括能够输出可见区域这样的短波长区域的光的结构。该光学器件包括UC层、第1光限制层、第2光限制层和共振模式形成层。UC层包含接收第1波长区域的激发光并输出比第1波长区域短的第2波长区域的光的上转换材料。第1光限制层具有将第2波长区域的光的至少一部分反射的光反射特性。第2光限制层具有将第2波长区域的光的一部分反射并使剩余部分透过的光反射特性，并且以UC层位于第1及第2光限制层之间的方式配置。共振模式层设置于UC层与第1光限制层之间、或UC层与第2光限制层之间，包括基本层和多个不同折射率区域，且形成第2波长区域的光的共振模式。
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公开(公告)号：CN116896004A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310310458.6
申请日：2023-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/34 , H01S5/02 , H01S5/02315 , H01S5/02253 , H01S5/028
Abstract: 本发明提供一种激光模块，其包括QCL元件和支承部件。QCL元件具有位于与作为层叠方向的第一方向正交的第二方向上的第一侧的第一端面、和位于第二方向上的第一侧的相反侧的第二侧的第二端面。基板具有第一基板端面～第四基板端面。支承部件具有：具有与第四基板端面的至少一部分相对的第一面的第一部分；和具有与第一基板端面的至少一部分相对的第二面及在第二方向上位于第二面的相反侧的第三面的第二部分。在活性层生成的太赫兹波的至少一部分经基板入射到支承部件的第二面，通过第二部分的内部后从第三面射出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116137890A
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：CN202180063311.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02
Abstract: 本公开提供了一种光检测模块(1)，具备光检测器(10)和固定部件(50)。光检测器(10)具有：半导体基板(11)；台面部(12)；第1接触层(13)；第2接触层(14)；以及第1电极(15)，在半导体基板(11)的主面(11a)上形成为平面状、电连接于第1接触层(13)和第2接触层(14)的一方。固定部件(50)具有：绝缘基板(51)；以及第1配线(52)，在绝缘基板(51)的主面(51a)上形成为平面状。在绝缘基板(51)的主面中形成凹部(54)，并且台面部(12)的至少一部分配置于凹部(54)内。第1电极(15)在面接触于第1配线(52)的状态下，电连接于第1配线(52)。
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公开(公告)号：CN116195073A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202180063266.9
申请日：2021-05-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/0264
Abstract: 本发明的光检测器(10)具备：半导体基板(11)、以沿着光波导方向(A)延伸的方式形成在半导体基板(11)的主面(11a)上的台面部(12)、第1接触层(13)、第2接触层(14)、第1电极(15)、以及与第1接触层(13)和第1电极(15)电连接的空气桥配线(16)。在从与半导体基板(11)的主面(11a)垂直的方向观察的情况下，台面部(12)的在光波导方向(A)上的长度(L1)比台面部的在与光波导方向(A)垂直的方向上的长度(L2)长。空气桥配线(16)，从第1接触层(13)向与光波导方向(A)垂直的方向上的一侧引出，并架设在第1接触层(13)与第1电极(15)之间。
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公开(公告)号：CN115133398A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210309698.X
申请日：2022-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 量子级联激光器包括半导体基板、形成在半导体基板的第1表面上的光波导体、和温度调节部件。光波导体具有第1区域和相对于第1区域位于光波导体的光波导方向上的一侧的第2区域。第1区域生成具有第1波长的第1光，第2区域生成具有第2波长的第2光。光波导体通过差频产生而生成具有对应于第1波长与第2波长之间的差的频率的输出光。在半导体基板的第2表面形成有用于抑制第1区域与第2区域之间的热移动的凹部。温度调节部件包括用于调节第2区域的温度的第1温度调节部件。
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公开(公告)号：CN114788102A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202080032393.8
申请日：2020-12-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/02253 , H01S5/20 , H01S5/30 , H01S5/02
Abstract: 激光模块包括：具备：量子级联激光器，其具有：具有主面和与主面为相反侧的背面的基板、设置于主面上的第1包覆层、设置于第1包覆层的与基板为相反侧的活性层、和设置于活性层的与第1包覆层为相反侧的第2包覆层；和透镜，其具有配置在与活性层的端面相对的位置的透镜面。朝向与基板、第1包覆层、活性层和第2包覆层的层叠方向交叉的方向的活性层的端面，构成使第1频率的光和第2频率的光振荡的谐振器，活性层生成第1频率和第2频率的差频率的太赫兹波。基板与透镜面直接或者间接地接触，活性层的端面相对于透镜面中的、面向端面的部分倾斜。
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公开(公告)号：CN113196598A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980083301.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/18
Abstract: 本实施方式所涉及的发光元件抑制光输出效率的降低并且输出清晰的光学图像。该发光元件具备基板、发光部、将基板与发光部接合的接合层。发光部具有被第一电极和第二电极夹持的半导体叠层，半导体叠层包含相位调制层。相位调制层具有基本层和多个差异折射率区域，并且包括与第二电极一致或包含整体的大小的第一区域和该第一区域以外的第二区域。位于第二区域内的各差异折射率区域的重心按照特定的排列条件配置于基准面上。从半导体叠层的表面输出的光为单一光束，关于从基板至半导体叠层的表面的第一距离和从基板至半导体叠层的背面的第二距离，沿着基板上的特定方向变动的第一距离的变动量比第二距离的变动量小。
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