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公开(公告)号：CN109843497B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201780062905.3
申请日：2017-10-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 伊崎泰则
IPC: B23K26/00 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/08
Abstract: 一种激光加工装置，具备：输出激光的激光光源；将自上述激光光源输出的上述激光对应于相位图案进行调制并出射的空间光调制器；将自上述空间光调制器所出射的上述激光聚光于对象物的物镜；控制显示于上述空间光调制器的相位图案的控制部；及进行上述空间光调制器的动作是否正常的判定的判定部，上述控制部进行用于切换显示于上述空间光调制器的上述相位图案的切换控制，上述判定部基于自上述空间光调制器所出射的上述激光的上述切换控制之前与上述切换控制之后之间的强度的变化进行上述判定。
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公开(公告)号：CN108712938B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201780016099.6
申请日：2017-03-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/04 , B23K26/064 , G02B5/08 , G02B7/198 , H01S3/10
Abstract: 激光加工装置具备有激光光源、具有显示部的空间光调制器、物镜、转像光学系统、摄像机以及控制部。控制部执行第1显示处理和第2显示处理。第1显示处理是在用摄像机对图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜聚光的激光的聚光位置作为第1聚光位置的第1相位图案。第2显示处理是在用摄像机对前述图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜所聚光的激光的聚光位置作为在激光的照射方向上与第1聚光位置不同的第2聚光位置的第2相位图案。
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公开(公告)号：CN106413974B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201580028163.3
申请日：2015-03-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/066 , B23K26/067 , H01L21/301
CPC classification number: B23K26/53 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/046 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/083 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , C03B33/0222
Abstract: 激光加工装置(300)具备：射出激光(L)的激光光源(202)、将激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(204)、对激光(L)进行调制以使激光(L)被分支成至少包含第1加工光及第2加工光的0次光及±n次光(n为自然数)并且第1加工光被聚光于第1聚光点且第2加工光被聚光于第2聚光点的反射型空间光调制器(203)、以及将被聚光于加工对象物(1)的0次光及±n次光中相对于第1加工光及第2加工光而被聚光于外侧的光遮断的光遮断部(220)。
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公开(公告)号：CN105008085A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380062649.X
申请日：2013-11-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/06 , B23K26/00 , B23K26/064 , B23K26/38 , B23K26/40
CPC classification number: H01L21/268 , B23K26/0006 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/38 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , H01L21/67115
Abstract: 激光加工装置(1)是通过对加工对象物(S)照射激光(L)而在加工对象物(S)形成改质区域(R)的装置。激光加工装置(1)具备：激光光源(2)，其出射激光(L)；载置台(8)，其支撑加工对象物(S)；以及光学系统(11)，其使从激光光源(2)出射的激光(L)中包围包含该激光(L)的光轴的中央部的环状部，聚光于被载置台(8)支撑的加工对象物(S)的规定部。光学系统(11)根据加工对象物(S)中规定部的位置，调整激光(L)的环状部的内缘和外缘中的至少一者的形状。
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公开(公告)号：CN1755429A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510093865.8
申请日：2005-08-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01
CPC classification number: G03H1/08 , G03H1/0841 , G03H1/16 , G03H1/2294 , G03H2001/0077 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2225/32
Abstract: 使用相位调制型的空间光调制器(12)相位调制读出光(26)，傅立叶变换该被相位调制的读出光(26)并在输出面(24)上成像而形成光图像。通过该方法，来使包含在被相位调制的读出光(26)中的零次光在输出面(24)上模糊。通过使零次光模糊来降低输出面(24)上的零次光的亮度。由于不遮断零次光，因此，光图像的形状不受限制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114401811B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202080064112.7
申请日：2020-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置具备有支撑部、光源、空间光调制器、聚光部及控制部。控制部，以激光被分支成包含0级光的多个加工光，且多个加工光的多个聚光点在Z方向及X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制空间光调制器，并且，以X方向与线的延伸方向一致，且多个聚光点沿着线相对地移动的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方。控制部，以在X方向上，0级光的聚光点相对于激光的非调制光的聚光点位于一侧的方式，控制空间光调制器。
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公开(公告)号：CN106662486B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201580041372.1
申请日：2015-07-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 第一反射部件(10)在透过第二反射部件(20)的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(11)反射，使该光中透过第一反射面(11)的光在第二反射面(12)反射，使这些反射光成分向相反方向射出。第二反射部件(20)在从第一反射部件(10)射出的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(21)反射，使该光中透过第一反射面(21)的光在第二反射面(22)反射，使这些反射光成分射出。利用在第一反射部件(10)的第一反射面(11)和第二反射部件(20)的第二反射面(22)反射的光(L12)与在第一反射部件(10)的第二反射面(12)和第二反射部件(20)的第一反射面(21)反射的光(L21)，在屏(30)上形成干涉条纹。由此，能够实现即使光的可干涉距离短时也能够更高灵敏度地评价该光的准直的装置和方法。
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公开(公告)号：CN101889238B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200880119574.3
申请日：2008-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/13318 , G02F1/136277 , G02F2203/50 , G09G3/2092 , G09G3/3611 , G09G2300/0491 , G09G2320/02 , G09G2320/0285
Abstract: 本发明涉及相位调制装置以及相位调制方法。即使入射光的条件发生变化，该相位调制装置也能够高精度且简单地进行反射型电寻址空间光调制器的相位调制特性的修正。该LCOS型相位调制装置中，输入部输入输入光的条件，处理部对各像素设定输入值。修正值导出部对应于输入光的条件决定修正条件。控制输入值变换部基于修正条件，将对各像素所设定的输入值变换为修正后输入值。查找表处理部将修正后输入值变换为电压值，并使用相当于变换了的电压值的驱动电压来驱动各像素。
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公开(公告)号：CN100559165C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200580029864.5
申请日：2005-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6458 , G01N21/6408 , G01N2021/6471 , G02B21/0032 , G02B21/0056 , G02B21/0076 , G02B21/16
Abstract: 荧光显微镜(11)，具有物镜(101)、分色镜(102)、半透镜(105)、反射镜(106)、激光源(111)、ND滤光器(112)、光束扩展器(113)、反射镜(114)、空间光调制元件(115)、透镜(131)、带通滤波器(132)、空间光调制元件(133)、检测部(134)。空间光调制元件(115)，其空间光调制为可变的，并且通过经由以后的光学系统，向被测试样(1)上照射进行空间调制后的激发光，可以对被测试样(1)中的激发光照射区域的个数、位置、形状进行设定。
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公开(公告)号：CN100442106C
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200510093865.8
申请日：2005-08-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01
CPC classification number: G03H1/08 , G03H1/0841 , G03H1/16 , G03H1/2294 , G03H2001/0077 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2225/32
Abstract: 使用相位调制型的空间光调制器(12)相位调制读出光(26)，傅立叶变换该被相位调制的读出光(26)并在输出面(24)上成像而形成光图像。通过该方法，来使包含在被相位调制的读出光(26)中的零次光在输出面(24)上模糊。通过使零次光模糊来降低输出面(24)上的零次光的亮度。由于不遮断零次光，因此，光图像的形状不受限制。
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