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公开(公告)号：CN104162740B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410428261.3
申请日：2009-10-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/0085 , B23K26/06 , B23K26/352 , G02B3/08 , G02B5/32 , G02B13/22 , G03H1/0005 , G03H1/08 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、相位调制型的空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及成像光学系统(30)。成像光学系统(30)可以是远心光学系统。包含于驱动部(21)中的存储部(21A)存储分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图，并且存储相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图。控制部(22)并列配置选自由存储部(21A)存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图，并将聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于空间光调制器(20)。
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公开(公告)号：CN100442106C
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200510093865.8
申请日：2005-08-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01
CPC classification number: G03H1/08 , G03H1/0841 , G03H1/16 , G03H1/2294 , G03H2001/0077 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2225/32
Abstract: 使用相位调制型的空间光调制器(12)相位调制读出光(26)，傅立叶变换该被相位调制的读出光(26)并在输出面(24)上成像而形成光图像。通过该方法，来使包含在被相位调制的读出光(26)中的零次光在输出面(24)上模糊。通过使零次光模糊来降低输出面(24)上的零次光的亮度。由于不遮断零次光，因此，光图像的形状不受限制。
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公开(公告)号：CN101712100A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910151293.2
申请日：2009-10-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/0085 , B23K26/06 , B23K26/352 , G02B3/08 , G02B5/32 , G02B13/22 , G03H1/0005 , G03H1/08 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、相位调制型的空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及成像光学系统(30)。成像光学系统(30)可以是远心光学系统。包含于驱动部(21)中的存储部(21A)存储分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图，并且存储相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图。控制部(22)并列配置选自由存储部(21A)存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图，并将聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于空间光调制器(20)。
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公开(公告)号：CN101618637A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910158707.4
申请日：2009-07-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: B41J2/442 , B23K26/066 , B41J2/465 , B41M5/24 , G02B26/06 , G02B27/42 , G02B27/4244 , G02B27/425 , G03H1/0005 , G03H1/0236 , G03H1/08 , G03H1/0808 , G03H1/2286 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2001/0816 , G03H2001/2218 , G03H2210/52 , G03H2225/32 , G03H2240/51 , G03H2240/53
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具有激光光源(10)、空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。控制部(22)在被存储部(21A)存储的多个基本全息图中，选择与加工对象物(91)中的整体加工图案所包含的各基本加工图案相对应的基本全息图；针对该选择的各基本全息图，当设输入到空间光调制器(20)的基本全息图的显示区域中的激光的强度为I，设基本全息图中的激光的衍射效率为η，设与基本全息图相对应的基本加工图案中的聚光点数为n时，以使“Iη/n”的值的偏差变小的方式确定空间光调制器(20)中的基本全息图的显示区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1755429A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510093865.8
申请日：2005-08-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01
CPC classification number: G03H1/08 , G03H1/0841 , G03H1/16 , G03H1/2294 , G03H2001/0077 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2225/32
Abstract: 使用相位调制型的空间光调制器(12)相位调制读出光(26)，傅立叶变换该被相位调制的读出光(26)并在输出面(24)上成像而形成光图像。通过该方法，来使包含在被相位调制的读出光(26)中的零次光在输出面(24)上模糊。通过使零次光模糊来降低输出面(24)上的零次光的亮度。由于不遮断零次光，因此，光图像的形状不受限制。
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公开(公告)号：CN104162740A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410428261.3
申请日：2009-10-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/0085 , B23K26/06 , B23K26/352 , G02B3/08 , G02B5/32 , G02B13/22 , G03H1/0005 , G03H1/08 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32 , B23K26/0648 , B23K26/0643
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、相位调制型的空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及成像光学系统(30)。成像光学系统(30)可以是远心光学系统。包含于驱动部(21)中的存储部(21A)存储分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图，并且存储相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图。控制部(22)并列配置选自由存储部(21A)存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图，并将聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于空间光调制器(20)。
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公开(公告)号：CN101712100B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN200910151293.2
申请日：2009-10-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , G03H1/08
CPC classification number: H01S3/0085 , B23K26/06 , B23K26/352 , G02B3/08 , G02B5/32 , G02B13/22 , G03H1/0005 , G03H1/08 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、相位调制型的空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及成像光学系统(30)。成像光学系统(30)可以是远心光学系统。包含于驱动部(21)中的存储部(21A)存储分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图，并且存储相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图。控制部(22)并列配置选自由存储部(21A)存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图，并将聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于空间光调制器(20)。
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公开(公告)号：CN101618637B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN200910158707.4
申请日：2009-07-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: B41J2/442 , B23K26/066 , B41J2/465 , B41M5/24 , G02B26/06 , G02B27/42 , G02B27/4244 , G02B27/425 , G03H1/0005 , G03H1/0236 , G03H1/08 , G03H1/0808 , G03H1/2286 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2001/0816 , G03H2001/2218 , G03H2210/52 , G03H2225/32 , G03H2240/51 , G03H2240/53
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具有激光光源(10)、空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。控制部(22)在被存储部(21A)存储的多个基本全息图中，选择与加工对象物(91)中的整体加工图案所包含的各基本加工图案相对应的基本全息图；针对该选择的各基本全息图，当设输入到空间光调制器(20)的基本全息图的显示区域中的激光的强度为I，设基本全息图中的激光的衍射效率为η，设与基本全息图相对应的基本加工图案中的聚光点数为n时，以使“Iη/n”的值的偏差变小的方式确定空间光调制器(20)中的基本全息图的显示区域。
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公开(公告)号：CN207071747U
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201720324632.2
申请日：2017-03-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/046 , B23K26/70
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供可对应多个波长带的激光加工装置。激光加工装置(200)具备根据相位图案调制且反射从激光振荡器(310)输出的激光(L)的反射型空间光调制器(410)和将来自反射型空间光调制器(410)的激光(L)向加工对象物(1)聚光的聚光透镜单元(430)。反射型空间光调制器(410)具有激光(L)入射的表面(218a)、将从表面(218a)入射的激光(L)向表面(218a)反射的表面(214a)、配置于表面(218a)和表面(214a)之间且显示相位图案并调制激光(L)的液晶层(216)。在表面(214a)上形成有在相互不连续的多个波长带具有高反射率区域的电介质多层膜(反射膜(215))。
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