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公开(公告)号：CN115004491A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202180009816.9
申请日：2021-01-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的一个实施方式涉及能够动态地控制光的相位分布的光源模块。该光源模块包括半导体层叠部。半导体层叠部包括由活性层和产生Γ点振荡的光子晶体层构成的层叠体，具有沿作为光子晶体层的共振方向之一的Y方向排列的相位同步部和强度调制部。构成强度调制部的一部分的层叠体具有沿X方向排列的M个(M为2以上的整数)像素。M个像素分别包含N1个(N1为2以上的整数)子像素。由N1个子像素中连续的N2个(N2为2以上N1以下的整数)子像素构成的区域的沿X方向定义的长度小于活性层的发光波长。该光源模块从包含于强度调制部的M个像素分别沿与X方向和Y方向的双方交叉的方向输出激光。
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公开(公告)号：CN113631994A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080025809.3
申请日：2020-03-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本实施方式涉及具备能够解决各种技术问题的新的器件结构的可变相位器件。该可变相位器件具备排列成一维或二维并且各自进行发光或光调制的M(M为2以上的整数)个像素。M个像素的排列周期低于入射光的波长并且沿着规定方向为恒定。M个像素各自包含分别具有将射出光的相位设为可变的结构的N(N为2以上的整数)个子像素。在M个像素的各个中，从N个子像素输出的N条部分光束在远场被合成为具有单一相位的光。
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公开(公告)号：CN112136077B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN201980031940.8
申请日：2019-05-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01
Abstract: 一实施方式所涉及的反射型动态超颖表面具备用于在至少构成一维排列的多个像素的各个中能够进行相位调制的结构。该超颖表面具备具有透明导电层及电介质层的层叠结构体；设置于层叠结构体的一方的面上的第1金属膜、设置于层叠结构体的另一方的面上的第2金属膜、及控制向第1及第2金属膜间施加的电压的驱动电路。第1及第2金属膜以夹着构成一维排列的多个像素的方式配置。第1金属膜以在1个像素中露出一对窗区域的方式配置，第2金属膜包含规定像素各自的形状并且相互分离的多个部分金属膜。驱动电路通过个别地控制部分金属膜各自的电位，而在每个像素调制所输入的光的相位。
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公开(公告)号：CN114868074A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202080089846.0
申请日：2020-12-23
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01 , H01S5/02315 , H01S5/18
Abstract: 本公开涉及具备可动态地控制光的相位分布并且像素的排列周期更小且适于高速动作的结构的空间光调制器等。该空间光调制器具备基板。基板具有：表面；背面；和多个贯通孔，其配置为一维状或二维状并且将表面与背面之间贯通。空间光调制器还具备：分别覆盖多个贯通孔的内壁的多个层叠结构。各层叠结构包括：设置在内壁上的第一导电层；电介质层，其设置在第一导电层上并且具有光透过性；和第二导电层，其设置在电介质层上并且具有光透过性。第一和第二导电层中的至少一个，对每一个由一个或一个以上贯通孔构成的组，电气分离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110383610A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880016044.X
申请日：2018-03-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本实施方式涉及具有能够分别生成所期望的光束投影图案的光的多个发光部的单一的半导体发光元件及其制造方法，该半导体发光元件在共用基板层上形成活性层和相位调制层，至少相位调制层包含沿共用基板层配置的多个相位调制区域，多个相位调制区域通过在相位调制层的制造后在该相位调制层内的多个部位分离而获得，由此获得具备与现有技术相比经过简单的制造工序而正确地定位的多个发光部的半导体发光元件。
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公开(公告)号：CN118891792A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202380026117.4
申请日：2023-03-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 半导体发光元件(1)具备半导体层叠(20)、电极(16)以及电极(17)。半导体层叠(20)包含活性层(12)及相位调制层(15)。相位调制层(15)具有多个相位调制区域(151)。各相位调制区域(151)包含具有第一折射率的基本区域(15a)和具有与第一折射率不同的第二折射率且呈二维状分布的多个不同折射率区域(15b)。电极(16)包含从半导体层叠(20)的层叠方向观察与多个相位调制区域(151)分别重叠的多个电极部分(161)。多个电极部分(161)相互电分离。在多个相位调制区域(151)的各个中谐振的激光(L)成为与多个不同折射率区域(15b)的配置对应的光像而向共同的照射区域照射。从多个相位调制区域(151)分别输出的光像相互相位同步。
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公开(公告)号：CN117038682A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310509854.1
申请日：2023-05-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 本公开的受光元件具备具有至少一个受光区域和供被检测光入射的光入射面的光检测基板、和由排列成格子状的多个单位结构体构成且以将被检测光进行聚光的方式配置于光入射面上的超透镜。从光检测基板的厚度方向观察时，在包含超透镜的中心的区域设置有未形成单位结构体的开口区域。
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公开(公告)号：CN116724403A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202180084761.8
申请日：2021-09-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/0232
Abstract: 受光元件(1)具备：基板(2)，其包含至少1个受光区域(10)，具有供光入射的光入射面(2a)；以及超透镜(3)，其形成于基板(2)的光入射面(2a)，以将入射至光入射面(2a)的光聚光。在从基板(2)的厚度方向(Z轴方向)观察的情形时，超透镜(3)形成为，与和受光区域(10)相邻的相邻区域(R1)及周缘区域(R2)两者重叠，上述周缘区域(R2)为与相邻区域(R1)连续且沿着受光区域(10)的外缘的受光区域(10)的内侧的区域。在从Z轴方向观察的情形时，于在光入射面(2a)中与受光区域(10)的中央区域重叠的区域，设置有未形成超透镜(3)的非形成区域(R3)。
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公开(公告)号：CN112105966A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201980030433.2
申请日：2019-04-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本公开关于一种包含具备可用以实现薄型化的构造的超颖镜的超颖镜单元等。该超颖镜单元具备超颖镜及超颖镜用保持部。超颖镜具备基部及第1天线部分。第1天线部分由具有第1折射率的多条第1天线、及具有第2折射率且位于多条第1天线之间的第1中间部构成。第1天线部分构成为：由多个第1天线端面中的若干端面构成的一维排列，包含端面的大小、端面的形状、及排列间距的至少任一者沿基线变化的图案。
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