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发明公开
受光元件审中-实审

公开(公告)号：CN116724403A

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202180084761.8

申请日：2021-09-08

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 石田隼斗 , 广瀬真树 , 细川畅郎 , 上野山聪 , 广瀬和义 , 田中和典

IPC: H01L31/0232

Abstract: 受光元件(1)具备：基板(2)，其包含至少1个受光区域(10)，具有供光入射的光入射面(2a)；以及超透镜(3)，其形成于基板(2)的光入射面(2a)，以将入射至光入射面(2a)的光聚光。在从基板(2)的厚度方向(Z轴方向)观察的情形时，超透镜(3)形成为，与和受光区域(10)相邻的相邻区域(R1)及周缘区域(R2)两者重叠，上述周缘区域(R2)为与相邻区域(R1)连续且沿着受光区域(10)的外缘的受光区域(10)的内侧的区域。在从Z轴方向观察的情形时，于在光入射面(2a)中与受光区域(10)的中央区域重叠的区域，设置有未形成超透镜(3)的非形成区域(R3)。

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