一种阈值电压可调的GaN基增强型高电子迁移率晶体管

    公开(公告)号:CN106298908A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610633129.5

    申请日:2016-08-04

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: H01L29/778 H01L29/06 H01L29/66431

    Abstract: 本发明公开了一种阈值电压可调的GaN基增强型高电子迁移率晶体管。本发明在衬底上从下至上依次涂覆有GaN缓冲层和AlGaN势垒层,GaN缓冲层和AlGaN势垒层的一侧边缘刻蚀有沟槽,在沟槽底的GaN缓冲层上表面覆有金属源电极,在AlGaN势垒层上表面远离沟槽一侧边缘覆有金属漏电极,在金属漏电极与金属源电极之间涂覆有绝缘电介质,且绝缘电介质完全覆盖源电极;位于垂直导电沟道附近的绝缘电介质上涂覆有栅极金属。本发明通过垂直沟道的深度来降低沟道电阻,通过离子注入和表面处理及栅极金属的选择上调节HEMT器件阈值电压,使其能够更好地满足中低压(低于600V)功率应用需求。

    一种带有P型柱体的超快速高压SOILIGBT器件

    公开(公告)号:CN105226088A

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201510563513.8

    申请日:2015-09-08

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: H01L29/7393 H01L29/417

    Abstract: 本发明涉及一种半导体器件,公开了一种带有P型柱体的阳极N+\P+交叠短路的超快速高压SOI LIGBT器件,包括衬底、阳极P+区、阳极N+区、阳极金属、N型漂移区、场氧化层、阴极P+区、阴极P型体区、P型沟道区、发射极N+区、阴极金属、多晶硅栅、LIGBT器件栅氧化层、多晶硅栅金属和第一P型柱体区、第二P型柱体区。本发明的超快速高压SOI LIGBT的有益效果是、关断速度的加快、负阻现象NDR(Negative Differential Resistance)的消除、正向导通压降的减小以及关断时器件耐压的提升。

    具有新型焊线的电力电子模块装置

    公开(公告)号:CN103887267A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201210570401.1

    申请日:2012-12-20

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: H01L2224/48137 H01L2224/49175 H01L2924/00

    Abstract: 本发明涉及一种具有新型焊线的电力电子功率模块装置。本发明采用具有低膨胀系数的金属材料代替传统铝材料,作为电力电子功率模块装置中用于芯片之间或芯片与电极之间相连接的引线。具有新型焊线的电力电子功率模块装置有效地解决了传统铝焊线与其接合材料的交界面上热应力过大的问题,改善了高温工作条件下金属焊线的安全性,有效提高了整个功率模块的使用寿命。

    一种IGBT功率模块
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103035590A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210569263.5

    申请日:2012-12-25

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种具有高散热性能的IGBT功率模块,包括芯片、导热绝缘基板、基板,导热绝缘基板由上敷铜层、陶瓷层、下敷铜层组成,下敷铜层的厚度为1.5-2.0mm。本发明通过改变传统IGBT模块结构中材料的尺寸参数,提高了IGBT模块的散热性能,克服了背景技术中传统的IGBT模块存在的缺陷。本发明的IGBT功率模块和传统的IGBT功率模块相比,散热面积增大2-3倍,散热效率提高2-3倍。

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