一种基于触觉启发的用于食品口感评价的摩擦振动测量装置及方法

    公开(公告)号:CN113945691B

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202111161056.1

    申请日:2021-09-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于触觉启发的用于食品口感评价的摩擦振动测量装置及方法。摩擦振动测量装置包括温度控制模块、力学测量模块和振动测量模块,温度控制模块用于控制工作温度,摩擦台卡槽、仿皮肤摩擦片和传热片构成食品质构评价的摩擦腔,以模拟人体口腔环境,力学测量模块用于测量食品摩擦运动中的力学信号,振动测量模块用于测量食品摩擦运动中的振动信号。基于上述测量装置的食品口感评价方法,通过牵引平台控制摩擦滑块在摩擦腔内与食品样品接触并做摩擦运动,利用力传感器和加速度传感器分别采集样品摩擦运动中的力信号和振动信号,经信息处理后提取特征值,综合力和振动两种信号形式来实现食品口感的评价,具有简便、客观、真实等优点。

    一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备

    公开(公告)号:CN117660944B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202410122778.3

    申请日:2024-01-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备,属于原子层沉积技术领域。该装备集成了压力系统、温度系统和流量系统,实现了化学气相沉积过程的全程自动化控制,在压力控制上,引入阀门经验开启角度,能够快速的接近目标压力,大大提高响应时间;进一步设计了非连续角度控制算法,针对化学气相沉积过程的大压力控制,也能够实现较高的控制精度。进一步的,该装备还设置有原位表征系统,通过相应的装置实现了化学沉积过程中样品沉积情况的实时检测。进一步的,本申请设置了炉膛移动轨道,可以在完成生产过程等待散热的环节移动炉膛将加热区彻底暴露在空气中,达到最大化散热效率,提升了整体生产效率。

    一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法

    公开(公告)号:CN117647490B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202410122785.3

    申请日:2024-01-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法,属于半导体生产设备技术领域。该CVD原位表征系统包括吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备,通过对现有管式CVD设备进行改进并配合所提出的环境补偿方法,实现了对于高温低压环境下的化学气相沉积过程的准确检测,而且由于本申请可以实现实时检测,因此可以获得样品或反应体系随时间变化的规律,结合系统温度和压力的变化,进一步获得样品或反应体系随温度、压力等环境变化的规律,从而能够确定最佳沉积条件。另外通过自动光路校准使得该系统可以在化学气相沉积过程对石英管内任意位置处的样品的沉积情况进行就检测,进而可以快速确定样品准确的生长窗口。

    一种CVD在线原位称重系统和方法

    公开(公告)号:CN117647300B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202410122781.5

    申请日:2024-01-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种CVD在线原位称重系统和方法,属于半导体制造技术领域。本申请考虑传感器无法应用于石英管内的高温环境下,采用了长悬臂连接称重传感器和样品载体,根据力矩原理计算得到传感器测量值,同时,考虑高温低压环境,预先获取对应的温度‑质量补偿曲线和气压补偿值,对测量值进行相应温度和气压的补偿,从而得到更精确的质量值,实现了沉积过程中对沉积样品的原位质量检测。针对高温环境,本申请称重系统设计了传感器‑连接门‑航插一体化结构,提高了结构的可靠性,在保证密封性能的同时,优化了系统结构。

    一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备

    公开(公告)号:CN117660944A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202410122778.3

    申请日:2024-01-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备,属于原子层沉积技术领域。该装备集成了压力系统、温度系统和流量系统,实现了化学气相沉积过程的全程自动化控制,在压力控制上,引入阀门经验开启角度,能够快速的接近目标压力,大大提高响应时间;进一步设计了非连续角度控制算法,针对化学气相沉积过程的大压力控制,也能够实现较高的控制精度。进一步的,该装备还设置有原位表征系统,通过相应的装置实现了化学沉积过程中样品沉积情况的实时检测。进一步的,本申请设置了炉膛移动轨道,可以在完成生产过程等待散热的环节移动炉膛将加热区彻底暴露在空气中,达到最大化散热效率,提升了整体生产效率。

    一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法

    公开(公告)号:CN117647490A

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202410122785.3

    申请日:2024-01-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法,属于半导体生产设备技术领域。该CVD原位表征系统包括吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备,通过对现有管式CVD设备进行改进并配合所提出的环境补偿方法,实现了对于高温低压环境下的化学气相沉积过程的准确检测,而且由于本申请可以实现实时检测,因此可以获得样品或反应体系随时间变化的规律,结合系统温度和压力的变化,进一步获得样品或反应体系随温度、压力等环境变化的规律,从而能够确定最佳沉积条件。另外通过自动光路校准使得该系统可以在化学气相沉积过程对石英管内任意位置处的样品的沉积情况进行就检测,进而可以快速确定样品准确的生长窗口。

    一种CVD在线原位称重系统和方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117647300A

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202410122781.5

    申请日:2024-01-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种CVD在线原位称重系统和方法,属于半导体制造技术领域。本申请考虑传感器无法应用于石英管内的高温环境下,采用了长悬臂连接称重传感器和样品载体,根据力矩原理计算得到传感器测量值,同时,考虑高温低压环境,预先获取对应的温度‑质量补偿曲线和气压补偿值,对测量值进行相应温度和气压的补偿,从而得到更精确的质量值,实现了沉积过程中对沉积样品的原位质量检测。针对高温环境,本申请称重系统设计了传感器‑连接门‑航插一体化结构,提高了结构的可靠性,在保证密封性能的同时,优化了系统结构。

    磁场热处理调控2:14:1型稀土软磁合金各向异性的方法

    公开(公告)号:CN117524707A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311596174.4

    申请日:2023-11-28

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种磁场热处理方法调控2:14:1型稀土软磁合金各向异性的方法及所适用的稀土软磁合金体系,属于软磁合金技术领域。本发明通过快速凝固获得稀土软磁合金非晶带材,并在晶化热处理过程中施加沿带材平面方向磁场,在晶化过程中诱导稀土非晶软磁合金基体析出具有易磁化面取向的纳米晶粒,从而实现易磁化面与带材平面重合度的调控。该方法所适用的2:14:1型稀土软磁合金化学式为R2T14B,其特征在于稀土元素R为Y、La、Pr、Nd、Sm、Gd中的一种或多种,过渡元素T为Fe和Co元素中的一种或两种。利用磁场热处理制备2:14:1型稀土软磁合金具有易磁化面与带材平面重合度高的特点,利于提高磁导率和截止频率,对金属软磁材料的高频化发展具有重要应用价值。

    一种基于触觉启发的用于食品口感评价的摩擦振动测量装置及方法

    公开(公告)号:CN113945691A

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN202111161056.1

    申请日:2021-09-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于触觉启发的用于食品口感评价的摩擦振动测量装置及方法。摩擦振动测量装置包括温度控制模块、力学测量模块和振动测量模块,温度控制模块用于控制工作温度,摩擦台卡槽、仿皮肤摩擦片和传热片构成食品质构评价的摩擦腔,以模拟人体口腔环境,力学测量模块用于测量食品摩擦运动中的力学信号,振动测量模块用于测量食品摩擦运动中的振动信号。基于上述测量装置的食品口感评价方法,通过牵引平台控制摩擦滑块在摩擦腔内与食品样品接触并做摩擦运动,利用力传感器和加速度传感器分别采集样品摩擦运动中的力信号和振动信号,经信息处理后提取特征值,综合力和振动两种信号形式来实现食品口感的评价,具有简便、客观、真实等优点。

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