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公开(公告)号：CN116735721B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311021279.7
申请日：2023-08-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于超声检测的柔性耦合楔块。本发明柔性耦合楔块的楔块基体为变形行为具有力学阈值敏感性的动态交联高分子材料，且该力学阈值可以通过添加功能组分实现调控以满足不同检测需求。楔块具有形状可变性，其在外力作用下可以与任意不规则结构相贴合或补形，撤去外力后可保持所发生的形变，从而实现复杂工况下的超声检测；本发明还提供了柔性耦合楔块的应用方法，当柔性耦合楔块与超声探头贴合时，其在外力作用下发生变形与被测工件的表面复杂结构相匹配，撤去外力后，柔性耦合楔块保持自身形变，稳定超声探头与被测工件的距离。本发明在一定程度上解决了复杂表面原位超声检测难题，极大程度拓宽了复杂形状工件的检测方法。
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公开(公告)号：CN116735721A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202311021279.7
申请日：2023-08-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于超声检测的柔性耦合楔块。本发明柔性耦合楔块的楔块基体为变形行为具有力学阈值敏感性的动态交联高分子材料，且该力学阈值可以通过添加功能组分实现调控以满足不同检测需求。楔块具有形状可变性，其在外力作用下可以与任意不规则结构相贴合或补形，撤去外力后可保持所发生的形变，从而实现复杂工况下的超声检测；本发明还提供了柔性耦合楔块的应用方法，当柔性耦合楔块与超声探头贴合时，其在外力作用下发生变形与被测工件的表面复杂结构相匹配，撤去外力后，柔性耦合楔块保持自身形变，稳定超声探头与被测工件的距离。本发明在一定程度上解决了复杂表面原位超声检测难题，极大程度拓宽了复杂形状工件的检测方法。
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公开(公告)号：CN117647300B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202410122781.5
申请日：2024-01-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种CVD在线原位称重系统和方法，属于半导体制造技术领域。本申请考虑传感器无法应用于石英管内的高温环境下，采用了长悬臂连接称重传感器和样品载体，根据力矩原理计算得到传感器测量值，同时，考虑高温低压环境，预先获取对应的温度‑质量补偿曲线和气压补偿值，对测量值进行相应温度和气压的补偿，从而得到更精确的质量值，实现了沉积过程中对沉积样品的原位质量检测。针对高温环境，本申请称重系统设计了传感器‑连接门‑航插一体化结构，提高了结构的可靠性，在保证密封性能的同时，优化了系统结构。
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公开(公告)号：CN117647300A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202410122781.5
申请日：2024-01-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种CVD在线原位称重系统和方法，属于半导体制造技术领域。本申请考虑传感器无法应用于石英管内的高温环境下，采用了长悬臂连接称重传感器和样品载体，根据力矩原理计算得到传感器测量值，同时，考虑高温低压环境，预先获取对应的温度‑质量补偿曲线和气压补偿值，对测量值进行相应温度和气压的补偿，从而得到更精确的质量值，实现了沉积过程中对沉积样品的原位质量检测。针对高温环境，本申请称重系统设计了传感器‑连接门‑航插一体化结构，提高了结构的可靠性，在保证密封性能的同时，优化了系统结构。
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