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公开(公告)号：CN117647490B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202410122785.3
申请日：2024-01-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法，属于半导体生产设备技术领域。该CVD原位表征系统包括吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备，通过对现有管式CVD设备进行改进并配合所提出的环境补偿方法，实现了对于高温低压环境下的化学气相沉积过程的准确检测，而且由于本申请可以实现实时检测，因此可以获得样品或反应体系随时间变化的规律，结合系统温度和压力的变化，进一步获得样品或反应体系随温度、压力等环境变化的规律，从而能够确定最佳沉积条件。另外通过自动光路校准使得该系统可以在化学气相沉积过程对石英管内任意位置处的样品的沉积情况进行就检测，进而可以快速确定样品准确的生长窗口。
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公开(公告)号：CN118288318A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410426821.5
申请日：2024-04-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种基于麦克纳姆轮的机器人灵巧手的驱动控制系统，通过数据线与上位机相互通信，所述灵巧手中设有控制其手指关节移动和旋转的舵机，以及位于手指关节中控制麦克纳姆轮转动的直流电机，该系统包括单片机、压降模块、电机驱动板和直流稳压电源；所述直流稳压电源的一端输出与压降模块串联后对舵机进行降压供电，另一端输出经过电机驱动板为直流电机进行供电；所述单片机与上位机之间使用串口通信，将上位机发送的控制信号处理并发送给舵机和电机驱动板，所述电机驱动板根据信号驱动直流电机。本发明系统在降低了系统复杂度和制造成本的同时保持了灵巧手操作的灵活性，实现对物体的多自由度操作，具有潜在的应用领域和扩展前景。
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公开(公告)号：CN117647490A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202410122785.3
申请日：2024-01-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法，属于半导体生产设备技术领域。该CVD原位表征系统包括吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备，通过对现有管式CVD设备进行改进并配合所提出的环境补偿方法，实现了对于高温低压环境下的化学气相沉积过程的准确检测，而且由于本申请可以实现实时检测，因此可以获得样品或反应体系随时间变化的规律，结合系统温度和压力的变化，进一步获得样品或反应体系随温度、压力等环境变化的规律，从而能够确定最佳沉积条件。另外通过自动光路校准使得该系统可以在化学气相沉积过程对石英管内任意位置处的样品的沉积情况进行就检测，进而可以快速确定样品准确的生长窗口。
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公开(公告)号：CN118342547A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410448313.7
申请日：2024-04-15
Applicant: 余姚市机器人研究中心 , 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种水下中空机器人关节模组，包括外壳，所述外壳依次由前盖、减速器舱壳体、电机座、电控舱壳体、后盖堆叠而成并在内部形成中空腔体；所述前盖、减速器舱壳体、电机座、电控舱壳体、后盖的接触面之间涂敷平面密封胶；所述中空腔体中布置有谐波减速器、电机、编码器；所述前盖覆盖于谐波减速器顶部，且在前盖与谐波减速器的输出法兰之间设有泛塞封，所述前盖上方通过螺钉安装有前盖盖板，且前盖盖板覆盖所述泛塞封；所述谐波减速器的输出法兰上依次安装有密封法兰和盘式法兰，同时所述泛塞封与密封法兰过盈配合。本发明的关节模组实现了减速器输出法兰和关节外壳之间的旋转轴密封，同时与市面上常见的关节模组的尺寸结构保持了一致性。
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