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公开(公告)号：CN118294699A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410594513.3
申请日：2024-05-14
Applicant: 河北工业大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种通过温度调控多晶超硬材料表面粗糙度的方法，涉及多晶材料表面平坦化技术领域，包括以下步骤：采用原子力显微镜测量多晶金刚石升温/降温阶段不同温度下的表面粗糙度，得到多晶金刚石表面粗糙度随温度的变化规律；揭示晶界对多晶金刚石热膨胀的影响机理；明确梯形二维多晶金刚石不同底边长度差模型的最佳服役温度；进行服役温度下多晶金刚石表面粗糙度调控，即通过室温下人工预留多晶金刚石表面晶粒间高度差，使多晶金刚石升温至服役温度时表面各晶粒膨胀至近似高度水平，获得超光滑表面。本发明采用上述方法，降低了多晶超硬材料在服役温度下的表面粗糙度，有望推动多晶金刚石在大功率芯片、外太空光学窗口等领域的应用。
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