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公开(公告)号：CN106984147A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710211359.7
申请日：2017-03-31
Applicant: 武汉工程大学
CPC classification number: B01D53/32 , B01D53/44 , B01D53/74 , B01D2259/806 , B01D2259/818
Abstract: 本发明公开了一种基于微波等离子体法处理工业有机废气的装置，包括磁控管、用于传输微波源的矩形激励波导、用于使微波按照一定的路线传输的环形器、微波谐振腔、以及用于吸收微波谐振腔反射回来微波的水负载，所述磁控管、矩形激励波导、环形器和微波谐振腔依次连接，所述水负载与环形器连接，所述微波谐振腔内设有喷嘴天线，该喷嘴天线包括多组可移动以调整总高度的分天线，所述微波谐振腔的一端设有用于通入待处理废气的进气管，所述微波谐振腔的另一端设有用于容纳激发的微波等离子体炬的废气处理腔。本发明提出的基于微波等离子体法处理工业有机废气的装置，实现了将低温等离子体技术处理废气产业化。
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公开(公告)号：CN103726032A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310754676.5
申请日：2013-12-31
Applicant: 武汉工程大学
IPC: C23C16/517 , C23C16/511 , C23C16/513 , C23C16/26
Abstract: 本发明涉及一种大体积微波等离子体制备类金刚石薄膜的装置，包括谐振腔、石英管反应腔、多个微波源和多个微波输入系统，所述微波源产生的微波通过所述微波输送系统送入所述谐振腔内，所述石英管反应腔位于所述谐振腔内，所述谐振腔为空心五棱柱，空心五棱柱的五个面分别对应不同的微波源和微波输入系统。本发明适合大批量制备类金刚石保护涂层，能够实现类金刚石薄膜光学涂层的产业化，极大地推动类金刚石产业的发展。
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公开(公告)号：CN102251230A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110185851.4
申请日：2011-07-04
Applicant: 武汉工程大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/27
Abstract: 本发明涉及材料领域，特别是一种提高微波法制备金刚石膜生长速度的方法。一种提高微波法制备金刚石膜生长速度的方法，其特征在于它包括如下步骤：1)基片台系统的组装，基片台系统包括带有水冷冷却系统的不锈钢基片台、陶瓷棒、石英半环、真空腔体、微波源、波导通道；2)通过装卸门将基片放置在不锈钢基片台的上端面上；在含碳气体的气氛下，用微波放电的方式，在低气压下将在基片上方高聚集的含碳气源激发产生等离子体，并在基片上方形成等离子体密度高且稳定的等离子体球，从而达到提高化学气相沉积金刚石膜速率的目的；3)基片台系统的拆卸。本发明具有沉积速率快、金刚石膜质量高、工艺简单，易于操作。
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公开(公告)号：CN108385086A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810200818.6
申请日：2018-03-12
Applicant: 武汉工程大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/458 , C23C16/511
Abstract: 本发明涉及一种基片台系统，包括基片台，基片台的下方在不同区域分布有尺寸不同的水冷管。一种提高金刚石膜生长均匀性的方法，具体包括如下步骤：构建基片台系统；金刚石膜的沉积：在利用微波放电产生等离子体球的腔体中，通过控制基片台不同区域的水冷散热效率，使基片台获得从中央到边缘区域由高到低的梯度散热效果，从而在基片表面建立均匀的温度分布状态，达到提高微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的均匀性的目的；金刚石膜样品的取出。本发明的有益效果为：具有易于加工安装，高效控制基片台各区域的温度，有效增加基片台表面温度分布的均匀性，利于沉积均匀金刚石膜等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103668125A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310754420.4
申请日：2013-12-31
Applicant: 武汉工程大学
IPC: C23C16/458
Abstract: 本发明涉及一种适用于管状等离子体薄膜沉积装置中的基片台，包括四根石英管（2）和固定在所述石英管（2）两端的支架盘（1），四根石英管（2）的端部均匀间隔设置在同一圆周上，其中一个支架盘（1）上设有进气口（4），另一个支架盘（1）封闭，所述石英管（2）上均匀设有多个安装基片的安装槽（3）。本发明解决了薄膜沉积过程中反应腔体内气体的均匀性问题，能够保证腔体内不同位置的基片都处在相同的气体氛围中，从而保证大批量生产时薄膜性能的一致性，可以进行薄膜的大批量沉积。
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公开(公告)号：CN110313308A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910655463.4
申请日：2019-07-19
Applicant: 武汉工程大学
IPC: A01D46/26
Abstract: 本发明公开了一种水果采摘装置，包括震动组件和收集组件，所述震动组件用以可拆卸的安装在果树的树干上，所述收集组件为环形并围设在所述树干周围，并位于树冠的下方，所述震动组件用以驱动所述树干震动以将树干上的果实震落并由所述收集组件进行收集。其结构简单，利用安装在所述树干上的震动组件将树冠上的果实震落并掉落在收集组件上进行收集，如此能显著的提高水果采摘的效率和安全性。
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公开(公告)号：CN103526187A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310474811.0
申请日：2013-10-12
Applicant: 武汉工程大学
IPC: C23C16/517 , C23C16/511 , C23C16/513 , C23C16/27
Abstract: 本发明属于微波等离子体化学气相沉积系统的领域，主要是涉及一种用于制备高质量大面积金刚石膜的微波等离子体化学气相沉积系统。本系统主要包括真空部分和微波导入部分，真空部分包括真空腔和真空腔上盖，真空腔上盖的中心侧表面形成不同特定尺寸的两个凹部，使得真空腔体为多模式腔体，在基片台上方形成由两个模式产生的大面积能量均匀的等离子体球；微波导入部分由下到上主要包括波导、石英环、模式转换天线，基片台与腔体的下部结合以夹持石英环从而保持真空，模式转换天线将微波导入至真空腔内，同时真空腔、模式转换天线以及带水冷的基片台由陶瓷环固定以保持严格的对中。
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公开(公告)号：CN103741112A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310752208.4
申请日：2013-12-31
Applicant: 武汉工程大学
IPC: C23C16/24 , C23C16/511 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，包括等功率狭缝板、反应腔、多路微波源和多路微波传输系统，所述反应腔的顶部设有石英玻璃板，所述石英玻璃板位于所述等功率狭缝板下方，多路微波源和多路微波传输系统并排设置在所述等功率狭缝板上方，所述反应腔内部设有电池片传动系统，所述微波源产生的微波通过微波传输系统后在等功率狭缝板下方的石英玻璃板下表面激发表面波等离子体，所述反应腔上设有抽真空接口和通工作气体接口。本发明装置适合大面积制备电池片，能够与其他反应腔室形成生产线，将极大地提高大面积电池片的生产效率。
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公开(公告)号：CN205723894U
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201620423076.X
申请日：2016-05-11
Applicant: 武汉工程大学
IPC: H01P3/00
Abstract: 本实用新型涉及一种水冷式三螺钉调配器，包括：三个销钉调节系统，并排设置在矩形波导上；销钉调节系统包括：扼流结构、介质块、调节螺母、销钉、轴承及冷却水管组；扼流结构与矩形波导固定连接；介质块设置在扼流结构中的扼流槽内；销钉穿设在扼流结构中，底部伸入矩形波导；调节螺母套设在销钉上；调节螺母的底端与扼流结构螺纹连接；轴承夹持固定在调节螺母与销钉之间；冷却水管组设置在销钉内部，将循环冷却水通入销钉内部。该水冷式三螺钉调配器的工作温度低，微波泄漏小，操作简单，满足高功率微波传输线调节要求。
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