星型微波等离子体化学气相沉积装置及制备大面积二维材料的方法

    公开(公告)号:CN110512194A

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201910774864.1

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 本发明属于低气压化学气相沉积制备薄膜技术领域,具体涉及一种星型微波等离子体化学气相沉积装置及制备大面积二维材料的方法。该方法包括:a)对各基片进行预清洁处理并置于石英腔体中;b)称取反应物并分别放置于第一原料载台上和第二原料载台上;c)对星型微波等离子体化学气相沉积装置进行抽真空处理;d)对星型微波等离子体化学气相沉积装置进行洗气;e)调节气体流量、反应压强、反应温度、加热速率、沉积时间,进行反应,再各基片上即得二维材料。本发明所提供的制备方法制备的薄膜可同时满足大面积、高迁移率等特性要求,对于二维材料的制备可控,可用于工业化大批量生产。

    一种水果采摘装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110313308A

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201910655463.4

    申请日:2019-07-19

    Abstract: 本发明公开了一种水果采摘装置,包括震动组件和收集组件,所述震动组件用以可拆卸的安装在果树的树干上,所述收集组件为环形并围设在所述树干周围,并位于树冠的下方,所述震动组件用以驱动所述树干震动以将树干上的果实震落并由所述收集组件进行收集。其结构简单,利用安装在所述树干上的震动组件将树冠上的果实震落并掉落在收集组件上进行收集,如此能显著的提高水果采摘的效率和安全性。

    星型微波等离子体化学气相沉积装置及制备大面积一层或少层二硫化钼薄膜的方法

    公开(公告)号:CN110484898A

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201910774857.1

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 本发明涉及低压化学气相沉积制备技术领域,具体涉及一种星型微波等离子体化学气相沉积装置及制备大面积一层或少层二硫化钼薄膜的方法。该方法包括:a)对各基片进行预清洁处理并置于石英腔体中;b)称取反应物并分别放置于第一原料载台上和第二原料载台上;c)对星型微波等离子体化学气相沉积装置进行抽真空处理;d)对星型微波等离子体化学气相沉积装置进行洗气;e)调节气体流量、反应压强、反应温度、加热速率、沉积时间,进行反应,在各基片上即得一层或少层二硫化钼薄膜。本发明制备的薄膜可同时满足大面积、层数可控、高迁移率等特性要求,对于大面积一层和少层可控薄膜的制备可控,可用于工业化大批量生产。

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