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公开(公告)号：CN108235575A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201710860813.1
申请日：2017-09-21
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种例如在基板检查装置中不管检查对象的基板的尺寸如何都能够使基板停止在检查时的目标位置的技术。该基板检查装置具有：从基板检查装置的上游侧向下游侧输送基板(K1)的基板轨道(21a、21b)；和在基板轨道(21a、21b)的基板(K1)的输送方向的规定位置，以夹着基板(K1)的方式配置投光单元(15a)和光接收单元(15b)，基于从投光单元(15a)射出的检测光中被光接收单元(15b)接收到的光的量对基板(K1)的位置进行检测的机构。通过在被光接收单元(15b)接收到的接收光量变得比阈值小的情况下将基板轨道(21a、21b)停止而使基板(K1)停止在目标位置。而且，在投光单元(15a)与光接收单元(15b)之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大阈值。
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公开(公告)号：CN101776618B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201010002063.2
申请日：2010-01-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/044 , G01N2223/419 , G06T11/006 , G06T2211/421 , H01L22/00 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 提供在检查基板时能根据被检查部位种类等来进行检查且能缩短检查时间的检查方法和检查装置。由X射线源输出且透过检查对象即基板的X射线被FPD（平板检测器）拍摄成X射线透视图像。用于生成X射线CT的重建数据的拍摄与用于生成X射线照相组合的重建数据的拍摄同样地，在以X射线源（2）的光轴（L）为轴的假想圆上的位置（301~308）进行。然后，在生成X射线CT的重建数据时，针对在各位置（302～308）得到的X射线透视图像，根据假想圆（300）上的旋转位置，利用仿射变换来使各图像以各X射线透视图像的中心为轴旋转，使得如同在各位置（302A～308A）拍摄得到，在这样进行数据转换后进行滤波处理。
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公开(公告)号：CN103529048B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310269100.X
申请日：2013-06-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/89
CPC classification number: H05K13/0815 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种上游装置和下游装置的连接容易且能够实现检查节拍的最优化的基板检查装置。基板检查装置具有：搬运单元，其从装置的上游侧向下游侧搬运基板；照相机，其用于拍摄上述搬运单元上的基板；移动机构，其使上述照相机移动至上述基板上的拍摄位置。在将基板的搬运方向设为X方向且将在水平面内与X方向垂直的方向设为Y方向的情况下，上述搬运单元沿着Y方向排列配置，且由分别能够独立搬运基板的多条搬运路形成，能够变更上述多条搬运路的各Y方向位置。
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公开(公告)号：CN108235575B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201710860813.1
申请日：2017-09-21
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种例如在基板检查装置中不管检查对象的基板的尺寸如何都能够使基板停止在检查时的目标位置的技术。该基板检查装置具有：从基板检查装置的上游侧向下游侧输送基板(K1)的基板轨道(21a、21b)；和在基板轨道(21a、21b)的基板(K1)的输送方向的规定位置，以夹着基板(K1)的方式配置投光单元(15a)和光接收单元(15b)，基于从投光单元(15a)射出的检测光中被光接收单元(15b)接收到的光的量对基板(K1)的位置进行检测的机构。通过在被光接收单元(15b)接收到的接收光量变得比阈值小的情况下将基板轨道(21a、21b)停止而使基板(K1)停止在目标位置。而且，在投光单元(15a)与光接收单元(15b)之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大阈值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107490587B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201710358920.4
申请日：2017-05-19
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/044
Abstract: 本发明提供一种使用放射线的检查装置，防止放射线的泄漏并缩短检查时间。检查装置具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室，搬入准备室和搬出准备室分别具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置，使搬入的检查对象物沿与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部；以及搬出装置，使检查对象物沿着与移动装置的移动方向不同的方向移动，将检查对象物从第二开口部搬出，拍摄室具有拍摄装置，拍摄装置拍摄从搬入准备室搬入的检查对象物，移动装置具有：载置部，载置检查对象物；以及屏蔽构件，与载置部一起移动，屏蔽从第一开口部或第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线，以使放射线不到达另一开口部。
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公开(公告)号：CN107490587A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710358920.4
申请日：2017-05-19
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
Abstract: 本发明提供一种使用放射线的检查装置，防止放射线的泄漏并缩短检查时间。检查装置具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室，搬入准备室和搬出准备室分别具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置，使搬入的检查对象物沿与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部；以及搬出装置，使检查对象物沿着与移动装置的移动方向不同的方向移动，将检查对象物从第二开口部搬出，拍摄室具有拍摄装置，拍摄装置拍摄从搬入准备室搬入的检查对象物，移动装置具有：载置部，载置检查对象物；以及屏蔽构件，与载置部一起移动，屏蔽从第一开口部或第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线，以使放射线不到达另一开口部。
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公开(公告)号：CN103529048A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310269100.X
申请日：2013-06-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/89
CPC classification number: H05K13/0815 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种上游装置和下游装置的连接容易且能够实现检查节拍的最优化的基板检查装置。基板检查装置具有：搬运单元，其从装置的上游侧向下游侧搬运基板；照相机，其用于拍摄上述搬运单元上的基板；移动机构，其使上述照相机移动至上述基板上的拍摄位置。在将基板的搬运方向设为X方向且将在水平面内与X方向垂直的方向设为Y方向的情况下，上述搬运单元沿着Y方向排列配置，且由分别能够独立搬运基板的多条搬运路形成，能够变更上述多条搬运路的各Y方向位置。
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公开(公告)号：CN101776618A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN201010002063.2
申请日：2010-01-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/044 , G01N2223/419 , G06T11/006 , G06T2211/421 , H01L22/00 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 提供在检查基板时能根据被检查部位种类等来进行检查且能缩短检查时间的检查方法、检查装置及检查用程序。由X射线源输出且透过检查对象即基板的X射线被FPD(平板检测器)拍摄成X射线透视图像。用于生成X射线CT的重建数据的拍摄与用于生成X射线照相组合的重建数据的拍摄。同样地，在以X射线源(2)的光轴(L)为轴的假想圆上的位置(301～308)进行。然后，在生成X射线CT的重建数据时，针对在各位置(302～308)得到的X射线透视图像，根据假想圆(300)上的旋转位置，利用仿射变换来使各图像以各X射线透视图像的中心为轴旋转，使得如同在各位置(302A～308A)拍摄得到，在这样进行数据转换后进行滤波处理。
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