检查管理系统、检查管理装置及检查管理方法

    公开(公告)号:CN110046778B

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN201811188109.7

    申请日:2018-10-12

    Abstract: 本发明提供一种能算出生产线中间工序中的检查的最佳检查基准,且用户容易判断是否采用所述检查基准的检查管理系统、检查管理装置及检查管理方法。检查管理系统具有多个工序,对进行完成品检查的最终检查及进行中间品检查的一个以上的中间检查进行管理,检查管理系统包括:检查内容数据获取部件,获取其中包含针对产品的每个检查项目的检查基准的检查内容数据;检查内容设定部件,基于由检查内容数据获取部件获取的检查内容数据来设定检查内容;模拟部件,进行基于暂定检查内容的检查的模拟;检查基准计算部件,基于所述模拟来算出比当前检查基准更适当的检查基准;以及输出部件,输出至少表示由检查基准计算部件算出的检查基准为适当的依据信息。

    检查管理系统、检查管理装置及检查管理方法

    公开(公告)号:CN110046778A

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201811188109.7

    申请日:2018-10-12

    Abstract: 本发明提供一种能算出生产线中间工序中的检查的最佳检查基准,且用户容易判断是否采用所述检查基准的检查管理系统、检查管理装置及检查管理方法。检查管理系统具有多个工序,对进行完成品检查的最终检查及进行中间品检查的一个以上的中间检查进行管理,检查管理系统包括:检查内容数据获取部件,获取其中包含针对产品的每个检查项目的检查基准的检查内容数据;检查内容设定部件,基于由检查内容数据获取部件获取的检查内容数据来设定检查内容;模拟部件,进行基于暂定检查内容的检查的模拟;检查基准计算部件,基于所述模拟来算出比当前检查基准更适当的检查基准;以及输出部件,输出至少表示由检查基准计算部件算出的检查基准为适当的依据信息。

    检查装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107490587B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201710358920.4

    申请日:2017-05-19

    Abstract: 本发明提供一种使用放射线的检查装置,防止放射线的泄漏并缩短检查时间。检查装置具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室,搬入准备室和搬出准备室分别具有:搬入装置,从第一开口部搬入检查对象物;移动装置,使搬入的检查对象物沿与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部;以及搬出装置,使检查对象物沿着与移动装置的移动方向不同的方向移动,将检查对象物从第二开口部搬出,拍摄室具有拍摄装置,拍摄装置拍摄从搬入准备室搬入的检查对象物,移动装置具有:载置部,载置检查对象物;以及屏蔽构件,与载置部一起移动,屏蔽从第一开口部或第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线,以使放射线不到达另一开口部。

    照射量管理装置以及照射量管理方法

    公开(公告)号:CN107941826B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201710816155.6

    申请日:2017-09-11

    Abstract: 本发明提供一种用于合适地管理检查对象物上的每个部件的照射量的技术。本发明的照射量管理装置,根据X射线检查中的射线源和检查对象物之间的位置关系以及从射线源照射的X射线的强度,计算出作为检查对象物射线源侧的面的第一面的照射量的分布和作为检查对象物的射线源的相反一侧的面的第二面的照射量的分布,并根据第一面和第二面各自的照射量分布和多个部件各自的配置,计算出每个部件的照射量。

    检查装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107490587A

    公开(公告)日:2017-12-19

    申请号:CN201710358920.4

    申请日:2017-05-19

    Abstract: 本发明提供一种使用放射线的检查装置,防止放射线的泄漏并缩短检查时间。检查装置具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室,搬入准备室和搬出准备室分别具有:搬入装置,从第一开口部搬入检查对象物;移动装置,使搬入的检查对象物沿与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部;以及搬出装置,使检查对象物沿着与移动装置的移动方向不同的方向移动,将检查对象物从第二开口部搬出,拍摄室具有拍摄装置,拍摄装置拍摄从搬入准备室搬入的检查对象物,移动装置具有:载置部,载置检查对象物;以及屏蔽构件,与载置部一起移动,屏蔽从第一开口部或第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线,以使放射线不到达另一开口部。

    基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置

    公开(公告)号:CN1979137A

    公开(公告)日:2007-06-13

    申请号:CN200610001104.X

    申请日:2006-01-11

    Abstract: 基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置。本发明的课题是提供可自动生成基板检查中所使用的检查逻辑的技术。作为解决手段,检查逻辑设定装置取得多个第一图像与多个第二图像,所述多个第一图像是对通过检查应该被检测出的部件进行拍摄而得到的,所述多个第二图像是对通过检查应该被排除的部件进行拍摄而得到的,将所述多个第一图像以及所述多个第二图像中的各个图像分割为多个块,针对所述每个块计算所述多个第一图像和所述多个第二图像之间的颜色距离,从所述多个块中选择一个或一个以上颜色距离相对大的块,将选择出的块设定为所述区域条件。

    检查系统、检查装置以及检查程序

    公开(公告)号:CN115210559A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202080097994.7

    申请日:2020-12-16

    Abstract: 检查系统具备:拍摄部,其拍摄被检体;存储部,其存储由拍摄部拍摄到的映现有被检体的图像;第1判定部,其判定图像中映现的被检体是否为不良品;以及第2判定部,其根据第1判定部的判定结果和与存储于存储部的被检体有关的第1信息,判定是否使存储部存储图像。

    X射线检查装置及X射线检查方法

    公开(公告)号:CN107490586B

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN201710351695.1

    申请日:2017-05-18

    Abstract: 不造成成本的增加和装置结构的限定地减轻X射线检查装置中因重复性误差而引起的三维数据的画质降低。一种X射线检查装置,包括:工作台,其通过电机的驱动使检查对象物、X射线源以及X射线照相机中的至少一者移动;位置检测单元,其定期获取所述电机的位置检测值,并将该位置检测值与时间相关联地存储;拍摄时刻获取单元,其将来自所述X射线照相机的拍摄时刻与时间相关联地存储;拍摄位置计算单元,其根据在拍摄时刻的所述电机的位置检测值,求得在拍摄时刻的所述检查对象物、所述X射线源以及所述X射线照相机之间的位置关系;以及重建单元,其使用由所述X射线照相机所拍摄的拍摄数据以及在该拍摄数据的拍摄时刻的所述位置关系进行重建处理。

    照射量管理装置以及照射量管理方法

    公开(公告)号:CN107941826A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201710816155.6

    申请日:2017-09-11

    Abstract: 本发明提供一种用于合适地管理检查对象物上的每个部件的照射量的技术。本发明的照射量管理装置,根据X射线检查中的射线源和检查对象物之间的位置关系以及从射线源照射的X射线的强度,计算出作为检查对象物射线源侧的面的第一面的照射量的分布和作为检查对象物的射线源的相反一侧的面的第二面的照射量的分布,并根据第一面和第二面各自的照射量分布和多个部件各自的配置,计算出每个部件的照射量。

    X线检查装置及其控制方法、记录介质

    公开(公告)号:CN107843606A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201710695078.3

    申请日:2017-08-15

    Abstract: 本发明提供一种针对在2D透射图像中难以检测的不良,也能够以短时间且低曝光来进行检查的技术。X线检查装置具有:3D处理部,只对被检查区域中的第一区域执行3D摄像;2D处理部,对被检查区域中的第二区域执行2D摄像;提取部,从第一区域的3D图像提取第一被检查物的3D信息,且从第二区域的2D图像提取第二被检查物的2D信息;3D信息推定部,基于由提取部所提取的第一被检查物的3D信息,推定第二被检查物的3D信息;以及检查部,使用第二被检查物的2D信息和所推定的3D信息,检查第二被检查物。

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