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公开(公告)号：CN108235575A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201710860813.1
申请日：2017-09-21
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种例如在基板检查装置中不管检查对象的基板的尺寸如何都能够使基板停止在检查时的目标位置的技术。该基板检查装置具有：从基板检查装置的上游侧向下游侧输送基板(K1)的基板轨道(21a、21b)；和在基板轨道(21a、21b)的基板(K1)的输送方向的规定位置，以夹着基板(K1)的方式配置投光单元(15a)和光接收单元(15b)，基于从投光单元(15a)射出的检测光中被光接收单元(15b)接收到的光的量对基板(K1)的位置进行检测的机构。通过在被光接收单元(15b)接收到的接收光量变得比阈值小的情况下将基板轨道(21a、21b)停止而使基板(K1)停止在目标位置。而且，在投光单元(15a)与光接收单元(15b)之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大阈值。
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公开(公告)号：CN108235575B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201710860813.1
申请日：2017-09-21
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种例如在基板检查装置中不管检查对象的基板的尺寸如何都能够使基板停止在检查时的目标位置的技术。该基板检查装置具有：从基板检查装置的上游侧向下游侧输送基板(K1)的基板轨道(21a、21b)；和在基板轨道(21a、21b)的基板(K1)的输送方向的规定位置，以夹着基板(K1)的方式配置投光单元(15a)和光接收单元(15b)，基于从投光单元(15a)射出的检测光中被光接收单元(15b)接收到的光的量对基板(K1)的位置进行检测的机构。通过在被光接收单元(15b)接收到的接收光量变得比阈值小的情况下将基板轨道(21a、21b)停止而使基板(K1)停止在目标位置。而且，在投光单元(15a)与光接收单元(15b)之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大阈值。
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