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公开(公告)号：CN101960296A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200880127647.3
申请日：2008-12-25
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/046 , A61B6/466 , G01N2223/3302 , G01N2223/419 , G01N2223/6113 , G01T1/2985
Abstract: 提供对检查对象的物规定检查区域进行高速检查的X射线检查装置及方法。X射线检查装置(100)具有输出X射线的扫描型X射线源(10)、安装多个X射线检测器(23)并能独立驱动多个X射线检测器(23)的X射线检测器驱动部(22)、控制来自X射线检测器驱动部(22)及X射线检测器(23)的图像数据的取得的图像取得控制机构(30)。扫描型X射线源(10)对各X射线检测器(23)，使X射线透过检查对象(20)的规定检查区域入射到各X射线检测器(23)，使X射线源的X射线焦点位置移动到所设定的各放射X射线的起点位置来放射X射线。并行交替执行X射线检测器(23)的一部分拍摄和其他部分向拍摄位置移动。图像控制取得机构(30)取得X射线检测器(23)检测的图像数据，运算部(70)基于该图像数据进行检查区域的图像重建。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102265143A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152102.2
申请日：2009-12-21
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04 , G01N2223/6113
Abstract: X射线检查方法和X射线检查装置(100)具有：X射线源(10)、X射线检测器(23)、X射线检测器驱动部(22)、控制X射线检测器驱动部(22)驱动X射线检测器(23)及从X射线检测器(23)取得图像数据的图像取得控制机构(30)、移动检查对象(1)的检查对象驱动机构(20)、X射线源控制机构(60)、运算部(70)。X射线源控制机构(60)基于运算部的指示，使X射线源(10)输出X射线。图像取得控制机构(30)基于运算部的指示，使X射线检测器移动至Y方向上的多个拍摄位置。检查对象驱动机构基于运算部的指示，使检查对象在Y方向上移动，能在各拍摄位置使X射线检测器检测透过检查对象的X射线。
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公开(公告)号：CN101776618B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201010002063.2
申请日：2010-01-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/044 , G01N2223/419 , G06T11/006 , G06T2211/421 , H01L22/00 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 提供在检查基板时能根据被检查部位种类等来进行检查且能缩短检查时间的检查方法和检查装置。由X射线源输出且透过检查对象即基板的X射线被FPD（平板检测器）拍摄成X射线透视图像。用于生成X射线CT的重建数据的拍摄与用于生成X射线照相组合的重建数据的拍摄同样地，在以X射线源（2）的光轴（L）为轴的假想圆上的位置（301~308）进行。然后，在生成X射线CT的重建数据时，针对在各位置（302～308）得到的X射线透视图像，根据假想圆（300）上的旋转位置，利用仿射变换来使各图像以各X射线透视图像的中心为轴旋转，使得如同在各位置（302A～308A）拍摄得到，在这样进行数据转换后进行滤波处理。
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公开(公告)号：CN102150036A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135516.4
申请日：2009-08-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/046 , G01N2223/419
Abstract: X射线检查装置(100)具有输出X射线的扫描型X射线源(10)、安装多个X射线检测器(23)并能独立驱动多个X射线检测器(23)的X射线检测器驱动部(22)、控制来自X射线检测器驱动部(22)及X射线检测器(23)的图像数据的取得的图像取得控制机构(30)。扫描型X射线源(10)对各X射线检测器(23)，使X射线透过检查对象(20)的多个规定检查区域入射到各X射线检测器(23)，使X射线源的X射线焦点位置移动到设定的各放射X射线的起点位置放射X射线。并行交替执行X射线检测器(23)的拍摄和未进行拍摄的其他X射线检测器(23)向拍摄位置的移动。图像控制取得机构(30)取得X射线检测器(23)检测的图像数据，运算部(70)基于该图像数据进行检查区域的图像重建。
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公开(公告)号：CN101960296B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN200880127647.3
申请日：2008-12-25
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01N23/046 , A61B6/466 , G01N2223/3302 , G01N2223/419 , G01N2223/6113 , G01T1/2985
Abstract: 提供对检查对象的物规定检查区域进行高速检查的X射线检查装置及方法。X射线检查装置(100)具有输出X射线的扫描型X射线源(10)、安装多个X射线检测器(23)并能独立驱动多个X射线检测器(23)的X射线检测器驱动部(22)、控制来自X射线检测器驱动部(22)及X射线检测器(23)的图像数据的取得的图像取得控制机构(30)。扫描型X射线源(10)对各X射线检测器(23)，使X射线透过检查对象(20)的规定检查区域入射到各X射线检测器(23)，使X射线源的X射线焦点位置移动到所设定的各放射X射线的起点位置来放射X射线。并行交替执行X射线检测器(23)的一部分拍摄和其他部分向拍摄位置移动。图像控制取得机构(30)取得X射线检测器(23)检测的图像数据，运算部(70)基于该图像数据进行检查区域的图像重建。
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公开(公告)号：CN101776618A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN201010002063.2
申请日：2010-01-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/044 , G01N2223/419 , G06T11/006 , G06T2211/421 , H01L22/00 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 提供在检查基板时能根据被检查部位种类等来进行检查且能缩短检查时间的检查方法、检查装置及检查用程序。由X射线源输出且透过检查对象即基板的X射线被FPD(平板检测器)拍摄成X射线透视图像。用于生成X射线CT的重建数据的拍摄与用于生成X射线照相组合的重建数据的拍摄。同样地，在以X射线源(2)的光轴(L)为轴的假想圆上的位置(301～308)进行。然后，在生成X射线CT的重建数据时，针对在各位置(302～308)得到的X射线透视图像，根据假想圆(300)上的旋转位置，利用仿射变换来使各图像以各X射线透视图像的中心为轴旋转，使得如同在各位置(302A～308A)拍摄得到，在这样进行数据转换后进行滤波处理。
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