公开(公告)号：CN111103460A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201811251334.0

申请日：2018-10-25

Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司

Inventor： 魏宏杰 ,  江冰松 ,  曹胜良 ,  刘杰人 ,  周升 ,  马亮

IPC: G01R27/02 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种提高四探针RS测试准确性的方法，包括：步骤1：检查四探针测量设备的探针状态；步骤2：将需要检测RS的硅片传送到四探针测量设备的载片台上面；步骤3：调节探针在硅片上的扎针深度，确定扎针基准面；步骤4：在硅片上选取一点进行单点RS测试，获取该点的多个扎针深度和每个扎针深度所对应的RS值；步骤5：绘制扎针深度与RS之间的关系曲线；步骤6：根据关系曲线确定最佳扎针深度。本发明可以根据扎针深度与RS值之间的对应关系，能够快速准确的使四探针测量设备对待测硅片进行扎针，并能确保该扎针深度下获得稳定和准确的RS值，真实反应离子注入机等设备的运行状况，提高了离子注入机的利用率和可信度，对产生过程有着重要意义。

公开(公告)号：CN206977252U

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201720622319.7

申请日：2017-05-31

Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司

Inventor： 李潼清 ,  程浩 ,  赵建伟 ,  魏宏杰 ,  周小玲 ,  庞辉 ,  任新旺 ,  赵艾清

IPC: H02K9/04 ,  F04D25/08

Abstract: 一种电机冷却系统，其包括：冷却风机；变频器，其与冷却风机连接；电机状态检测电路，其与电机连接，用于检测电机的运行状态；控制器，其与变频器和电机状态检测电路连接，用于根据电机的运行状态对变频器进行控制，进而调节冷却风机的转速。本系统能根据电机的输出功率和/或温度实时调整冷却风机的转速，从而实现对冷却风机的转速的闭环调节。同时，在满足大功率电机冷却的条件下，由于冷却风机并不会像现有技术那样一直处于全速运转状态而是处于无级调节模块，因此相较于现有的电机冷却系统，本系统能够有效降低整个系统所耗费的能源以及产生的噪声，从而起到节能、降噪和环保的作用。