公开(公告)号：CN111103460A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201811251334.0

申请日：2018-10-25

Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司

Inventor： 魏宏杰 ,  江冰松 ,  曹胜良 ,  刘杰人 ,  周升 ,  马亮

IPC: G01R27/02 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种提高四探针RS测试准确性的方法，包括：步骤1：检查四探针测量设备的探针状态；步骤2：将需要检测RS的硅片传送到四探针测量设备的载片台上面；步骤3：调节探针在硅片上的扎针深度，确定扎针基准面；步骤4：在硅片上选取一点进行单点RS测试，获取该点的多个扎针深度和每个扎针深度所对应的RS值；步骤5：绘制扎针深度与RS之间的关系曲线；步骤6：根据关系曲线确定最佳扎针深度。本发明可以根据扎针深度与RS值之间的对应关系，能够快速准确的使四探针测量设备对待测硅片进行扎针，并能确保该扎针深度下获得稳定和准确的RS值，真实反应离子注入机等设备的运行状况，提高了离子注入机的利用率和可信度，对产生过程有着重要意义。