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公开(公告)号：CN106796298B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201580045810.1
申请日：2015-07-10
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01T1/17
Abstract: 本发明提供一种能够省去对校正表格进行重新设定的劳力和时间，使用户能立刻在期望的条件下测定X射线强度数据的数据处理装置、求取各像素的特性的方法、以及数据处理的方法及程序。对由像素检测器测定到的X射线强度数据进行校正的数据处理装置(100)具备：存储特定的检测器的各像素的特性的特性存储部(130)；将作为利用特定的检测器进行测定时的条件来输入的测定条件以及表示各像素的特性的值应用于表示各像素处的计数值的近似表达式，使用近似表达式的计算结果来生成针对特定的检测器的校正表格的校正表格生成部(120)；和使用所生成的校正表格，对由特定的检测器测定到的X射线强度数据进行校正的校正部(160)。
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公开(公告)号：CN105593670A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480052656.6
申请日：2014-01-27
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
CPC classification number: G01N23/207 , G01N2223/3301
Abstract: 不使用后级受光狭缝就能够变更测定分辨率，并且对于在使用后级受光狭缝的情况下无法实现的测定分辨率的变更也能够灵活地应对。本发明的X射线衍射装置对试样台(7)上的试样(S)照射由X射线源产生的X射线，利用检测器(15)来检测在该试样(S)处衍射后的X射线，具备虚拟掩模设定部(26)和信号处理部(21)。检测器(15)按形成检测面(17)的多个检测元件(16)的每个检测元件(16)，输出与由检测元件(16)接收到的X射线的强度相应的检测信号。虚拟掩模设定部(26)对检测器(15)的检测面(17)设定虚拟掩模(31)，并且至少能够设定虚拟掩模的开口尺寸来作为虚拟掩模(31)的开口条件，其中，该虚拟掩模的开口尺寸是在X方向和Y方向上独立地设定的。信号处理部(21)根据由虚拟掩模设定部(26)设定的虚拟掩模的开口条件对从检测器(15)输出的检测信号进行处理。
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公开(公告)号：CN106796298A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580045810.1
申请日：2015-07-10
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01T1/17
Abstract: 本发明提供一种能够省去对校正表格进行重新设定的劳力和时间，使用户能立刻在期望的条件下测定X射线强度数据的数据处理装置、求取各像素的特性的方法、以及数据处理的方法及程序。对由像素检测器测定到的X射线强度数据进行校正的数据处理装置(100)具备：存储特定的检测器的各像素的特性的特性存储部(130)；将作为利用特定的检测器进行测定时的条件来输入的测定条件以及表示各像素的特性的值应用于表示各像素处的计数值的近似表达式，使用近似表达式的计算结果来生成针对特定的检测器的校正表格的校正表格生成部(120)；和使用所生成的校正表格，对由特定的检测器测定到的X射线强度数据进行校正的校正部(160)。
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公开(公告)号：CN105593670B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201480052656.6
申请日：2014-01-27
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
CPC classification number: G01N23/207 , G01N2223/3301
Abstract: 不使用后级受光狭缝就能够变更测定分辨率，并且对于在使用后级受光狭缝的情况下无法实现的测定分辨率的变更也能够灵活地应对。本发明的X射线衍射装置对试样台(7)上的试样(S)照射由X射线源产生的X射线，利用检测器(15)来检测在该试样(S)处衍射后的X射线，具备虚拟掩模设定部(26)和信号处理部(21)。检测器(15)按形成检测面(17)的多个检测元件(16)的每个检测元件(16)，输出与由检测元件(16)接收到的X射线的强度相应的检测信号。虚拟掩模设定部(26)对检测器(15)的检测面(17)设定虚拟掩模(31)，并且至少能够设定虚拟掩模的开口尺寸来作为虚拟掩模(31)的开口条件，其中，该虚拟掩模的开口尺寸是在X方向和Y方向上独立地设定的。信号处理部(21)根据由虚拟掩模设定部(26)设定的虚拟掩模的开口条件对从检测器(15)输出的检测信号进行处理。
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