公开(公告)号：CN102473608A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080025630.4

申请日：2010-07-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 清水康男 ,  森胜彦 ,  松本浩一 ,  冈山智彦 ,  森冈和 ,  播磨幸一 ,  冈嶋邦彦

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/4587

Abstract: 该成膜装置(10)包括：成膜室(11)，在重力方向上具有上部(22)，以基板(W)的被成膜面与重力方向平行的方式配置所述基板(W)；电极单元(31)，可装卸地设置于所述成膜室(11)，并具有被施加电压的平板状的阴极(75)以及与所述阴极(75)分开并对置配置的阳极(67)；装卸用轨道(41)，设置在所述成膜室(11)的所述上部，并沿着从所述成膜室(11)引出所述电极单元(31)的方向设置，用于引导所述电极单元(31)。