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公开(公告)号：CN112204165B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201980036620.1
申请日：2019-03-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34 , C22C21/00 , H01L21/203 , H01L21/28 , H01L29/786
Abstract: 本发明的目的在于提供能够形成耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜的铝合金靶材以及铝合金靶材的制造方法。为了达成上述目的，本发明的一个方式的铝合金靶材在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是使用这样的铝合金靶材形成的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性并具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。
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公开(公告)号：CN112262222A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN201980039161.2
申请日：2019-03-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C22C21/00 , C22F1/04 , C23C14/14 , C23C26/00 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/786 , C22F1/00
Abstract: 本发明的目的在于提供耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜以及具有该铝合金膜的薄膜晶体管。为了达成上述目的，本发明的一种方式的铝合金膜，在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是这样的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性，具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。
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公开(公告)号：CN113423858B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202080013277.1
申请日：2020-09-03
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种低电阻且耐热性、弯曲性优异的铝合金靶材、铝合金布线膜以及铝合金布线膜的制造方法。为了达成上述目的，一方式的铝合金靶材具有由铝构成的主要成分以及添加至上述主要成分中的元素组，上述元素组由0.005at％以上且0.88％以下的铁以及0.01at％以上且0.05at％以下的钒构成。若使用这样的铝合金靶材，则可形成低电阻且耐热性、弯曲性优异的铝合金布线膜。
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公开(公告)号：CN113423858A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202080013277.1
申请日：2020-09-03
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种低电阻且耐热性、弯曲性优异的铝合金靶材、铝合金布线膜以及铝合金布线膜的制造方法。为了达成上述目的，一方式的铝合金靶材具有由铝构成的主要成分以及添加至上述主要成分中的元素组，上述元素组由0.005at％以上且0.88％以下的铁以及0.01at％以上且0.05at％以下的钒构成。若使用这样的铝合金靶材，则可形成低电阻且耐热性、弯曲性优异的铝合金布线膜。
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公开(公告)号：CN112262222B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN201980039161.2
申请日：2019-03-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C22C21/00 , C22F1/04 , C23C14/14 , C23C26/00 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/786 , C22F1/00
Abstract: 本发明的目的在于提供耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜以及具有该铝合金膜的薄膜晶体管。为了达成上述目的，本发明的一种方式的铝合金膜，在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是这样的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性，具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106232854B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580021615.5
申请日：2015-08-24
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 喷镀用水反应性Al复合材料，其是在Al中以Al重量基准计添加0.2wt％以上2wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下的Mg而成的。由该Al复合材料得到Al合金喷镀膜，用该Al合金喷镀膜覆盖成膜室用构成部件。
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公开(公告)号：CN106232854A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580021615.5
申请日：2015-08-24
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 喷镀用水反应性Al复合材料，其是在Al中以Al重量基准计添加0.2wt％以上2wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下的Mg而成的。由该Al复合材料得到Al合金喷镀膜，用该Al合金喷镀膜覆盖成膜室用构成部件。
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公开(公告)号：CN119421969A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202380049685.6
申请日：2023-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种钨靶及其制造方法，抑制作为颗粒的产生原因的孔隙的生成，并高精度地控制其尺寸和分布。一种钨靶，由钨粉末的烧结体形成，其中，相对密度为99％以上，在0.15mm2的观察区域中，大小为0.01μm2以上且小于0.2μm2的孔隙为20个以下，大小为0.2μm2以上且小于1.8μm2的孔隙为5个以下，大小为1.8μm2以上的孔隙为1个以下。
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公开(公告)号：CN115485818A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032239.5
申请日：2021-06-22
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/3205 , H01L21/28 , H01L21/768 , H01L23/532 , H01L29/786 , C23C14/06 , C23C14/14 , C23C14/34 , C23C14/58
Abstract: 本发明提供一种低电阻且耐热性、弯曲性优异的金属布线结构体和金属布线结构体的制造方法。为了实现上述目的，金属布线结构体具有：金属布线膜，其具有由铝构成的主成分和添加在上述主成分中的包含0.005at％以上且0.88at％以下的铁的添加元素；以及第一覆盖层，其层叠在上述金属布线膜。如果是这种金属布线结构体，则可提供一种低电阻且耐热性、弯曲性优异的金属布线结构体。
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公开(公告)号：CN112204165A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201980036620.1
申请日：2019-03-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34 , C22C21/00 , H01L21/203 , H01L21/28 , H01L29/786
Abstract: 本发明的目的在于提供能够形成耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜的铝合金靶材以及铝合金靶材的制造方法。为了达成上述目的，本发明的一个方式的铝合金靶材在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是使用这样的铝合金靶材形成的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性并具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。
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