公开(公告)号：CN112262222B

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN201980039161.2

申请日：2019-03-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 氏原祐辅 ,  小林大士 ,  赤松泰彦 ,  永田智啓 ,  中村亮太 ,  新田纯一 ,  中台保夫

IPC: C22C21/00 ,  C22F1/04 ,  C23C14/14 ,  C23C26/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/786 ,  C22F1/00

Abstract: 本发明的目的在于提供耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜以及具有该铝合金膜的薄膜晶体管。为了达成上述目的，本发明的一种方式的铝合金膜，在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是这样的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性，具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。

公开(公告)号：CN112204165B

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN201980036620.1

申请日：2019-03-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中村亮太 ,  永田智啓 ,  赤松泰彦 ,  小林大士 ,  氏原祐辅 ,  中台保夫 ,  新田纯一

IPC: C23C14/34 ,  C22C21/00 ,  H01L21/203 ,  H01L21/28 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明的目的在于提供能够形成耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜的铝合金靶材以及铝合金靶材的制造方法。为了达成上述目的，本发明的一个方式的铝合金靶材在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是使用这样的铝合金靶材形成的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性并具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。

公开(公告)号：CN112262222A

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：CN201980039161.2

申请日：2019-03-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 氏原祐辅 ,  小林大士 ,  赤松泰彦 ,  永田智啓 ,  中村亮太 ,  新田纯一 ,  中台保夫

IPC: C22C21/00 ,  C22F1/04 ,  C23C14/14 ,  C23C26/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/786 ,  C22F1/00

Abstract: 本发明的目的在于提供耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜以及具有该铝合金膜的薄膜晶体管。为了达成上述目的，本发明的一种方式的铝合金膜，在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是这样的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性，具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。

公开(公告)号：CN112204165A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN201980036620.1

申请日：2019-03-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中村亮太 ,  永田智啓 ,  赤松泰彦 ,  小林大士 ,  氏原祐辅 ,  中台保夫 ,  新田纯一

IPC: C23C14/34 ,  C22C21/00 ,  H01L21/203 ,  H01L21/28 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明的目的在于提供能够形成耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜的铝合金靶材以及铝合金靶材的制造方法。为了达成上述目的，本发明的一个方式的铝合金靶材在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是使用这样的铝合金靶材形成的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性并具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。