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公开(公告)号：CN105940283A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006372.8
申请日：2015-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 亚科·罗希奥
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B3/0043 , B81B2201/0242 , G01C19/5684 , G01C19/5719
Abstract: 一种具有中心弹簧结构的环形陀螺仪结构，其中，中心弹簧结构优选26‑模式并且使得它们在频率上较低。趋于与外部机械激发相耦合的弯曲谐振模式明显高于26‑模式。因此，所描述的结构相对于外部的机械冲击和振动是非常强健的。
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公开(公告)号：CN105940283B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201580006372.8
申请日：2015-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 亚科·罗希奥
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种具有中心弹簧结构的环形陀螺仪结构，其中，中心弹簧结构优选2θ‑模式并且使得它们在频率上较低。趋于与外部机械激发相耦合的弯曲谐振模式明显高于2θ‑模式。因此，所描述的结构相对于外部的机械冲击和振动是非常强健的。
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公开(公告)号：CN105531564A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480050417.7
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: B81B7/0058 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪，该微机电陀螺仪包括被悬挂以形成质量块平面的两个震动质量块。震动质量块被激励而绕在质量块平面内的共同主轴旋转振荡。检测到的角运动引起第一震动质量块绕第一检测轴的旋转振荡以及第二震动质量块绕第二检测轴的旋转振荡。检测轴与质量块平面垂直并且间隔了非零距离。
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公开(公告)号：CN107406250B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201680014405.8
申请日：2016-03-07
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: B81B7/02
Abstract: 一种MEMS结构，所述MEMS结构提供了利用施加的电压选择性地控制MEMS装置的机电性质的改进方法。MEMS结构包括电容器元件，所述电容器元件包括至少一个定子元件(6，1)和被悬置成相对于定子元件、平行于第一方向运动的至少一个转子元件(8，3)。定子元件和转子元件形成至少一个电容器元件，电容器元件的电容根据转子元件相对于初始位置的位移而变化。定子元件和转子元件相互定向成使得在转子元件相对于初始位置的位移的至少一个范围内，电容关于位移的二阶导数具有负值。
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公开(公告)号：CN105531564B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201480050417.7
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: B81B7/0058 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪，该微机电陀螺仪包括被悬挂以形成质量块平面的两个震动质量块。震动质量块被激励而绕在质量块平面内的共同主轴旋转振荡。检测到的角运动引起第一震动质量块绕第一检测轴的旋转振荡以及第二震动质量块绕第二检测轴的旋转振荡。检测轴与质量块平面垂直并且间隔了非零距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105556242A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480050415.8
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B7/02 , G01C19/5755 , G01C19/5776
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪结构，该微机电陀螺仪结构包括震动质量块、本体元件以及使震动质量块悬挂于本体元件的弹簧结构件。在主振荡中，震动质量块的至少一部分在平面外方向上振荡。第一导体被布置成与震动质量块一起移动，并且第二导体附接至本体元件。导体包括沿第一方向和第三方向延伸的相邻的表面。电压元件被布置成在第一表面与第二表面之间产生电势差并且由此在第二方向上引发静电力，该静电力是通过震动质量块的主振荡来调制的。
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公开(公告)号：CN105934651B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201580005959.7
申请日：2015-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/574
Abstract: 一种具有驱动结构和感测结构以及耦合弹簧结构的特定布置的陀螺仪结构，该特定布置允许较大尺度的驱动结构和感测结构在非常有限的表面区域中的正交定向的运动。
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公开(公告)号：CN105556242B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201480050415.8
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B7/02 , G01C19/5755 , G01C19/5776
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪结构，该微机电陀螺仪结构包括震动质量块、本体元件以及使震动质量块悬挂于本体元件的弹簧结构件。在主振荡中，震动质量块的至少一部分在平面外方向上振荡。第一导体被布置成与震动质量块一起移动，并且第二导体附接至本体元件。导体包括沿第一方向和第三方向延伸的相邻的表面。电压元件被布置成在第一表面与第二表面之间产生电势差并且由此在第二方向上引发静电力，该静电力是通过震动质量块的主振荡来调制的。
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公开(公告)号：CN107406250A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680014405.8
申请日：2016-03-07
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: B81B7/02
Abstract: 一种MEMS结构，所述MEMS结构提供了利用施加的电压选择性地控制MEMS装置的机电性质的改进方法。MEMS结构包括电容器元件，所述电容器元件包括至少一个定子元件(6，1)和被悬置成相对于定子元件、平行于第一方向运动的至少一个转子元件(8，3)。定子元件和转子元件形成至少一个电容器元件，电容器元件的电容根据转子元件相对于初始位置的位移而变化。定子元件和转子元件相互定向成使得在转子元件相对于初始位置的位移的至少一个范围内，电容关于位移的二阶导数具有负值。
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公开(公告)号：CN105934651A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580005959.7
申请日：2015-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B3/0043 , B81B2201/0242 , B81B2207/012 , G01C19/574
Abstract: 一种具有驱动结构和感测结构以及耦合弹簧结构的特定布置的陀螺仪结构，该特定布置允许较大尺度的驱动结构和感测结构在非常有限的表面区域中的正交定向的运动。
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