公开(公告)号：CN107406250A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680014405.8

申请日：2016-03-07

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  亚科·罗希奥 ,  汉努·韦斯泰里宁

IPC: B81B7/02

Abstract: 一种MEMS结构，所述MEMS结构提供了利用施加的电压选择性地控制MEMS装置的机电性质的改进方法。MEMS结构包括电容器元件，所述电容器元件包括至少一个定子元件(6，1)和被悬置成相对于定子元件、平行于第一方向运动的至少一个转子元件(8，3)。定子元件和转子元件形成至少一个电容器元件，电容器元件的电容根据转子元件相对于初始位置的位移而变化。定子元件和转子元件相互定向成使得在转子元件相对于初始位置的位移的至少一个范围内，电容关于位移的二阶导数具有负值。

公开(公告)号：CN107406250B

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：CN201680014405.8

申请日：2016-03-07

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  亚科·罗希奥 ,  汉努·韦斯泰里宁

IPC: B81B7/02

Abstract: 一种MEMS结构，所述MEMS结构提供了利用施加的电压选择性地控制MEMS装置的机电性质的改进方法。MEMS结构包括电容器元件，所述电容器元件包括至少一个定子元件(6，1)和被悬置成相对于定子元件、平行于第一方向运动的至少一个转子元件(8，3)。定子元件和转子元件形成至少一个电容器元件，电容器元件的电容根据转子元件相对于初始位置的位移而变化。定子元件和转子元件相互定向成使得在转子元件相对于初始位置的位移的至少一个范围内，电容关于位移的二阶导数具有负值。