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    质量分析装置
    1.
    发明授权
    质量分析装置 失效

    公开(公告)号：CN102468111B

    公开(公告)日：2015-03-04

    申请号：CN201110353331.X

    申请日：2011-11-07

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 诸熊秀俊 ,  桥本雄一郎 ,  杉山益之 ,  山田益义 ,  长谷川英树

    IPC: H01J49/04

    CPC classification number: H01J49/0013 ,  H01J49/0031 ,  H01J49/0422 ,  H01J49/0495 ,  H01J49/10 ,  H01J49/105 ,  H01J49/24 ,  H01J49/26

    Abstract: 本发明涉及质量分析装置。本发明提供小型轻量且可进行高精度的质量分析的质量分析装置(100)。该质量分析装置具有：为了使测定试样(4)离子化而对从外部流入的气体(23)进行离子化的离子源(101)和分离已离子化的测定试样(4)的质量分析部(102)；离子源(101)通过来自质量分析部(102)的差动排气来使内部减压，在吸入气体(23)而使气压上升时使气体(23)离子化，质量分析部(102)在吸入气体(23)后内压下降时将已离子化的测定试样(4)分离。具有：抑制离子源(101)取入的气体(23)的流量的抑制构件(9)和对离子源(101)取入的气体(23)的气流进行开闭的开闭机构(8)。

    扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法
    3.
    发明公开
    扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法 有权

    公开(公告)号：CN102759540A

    公开(公告)日：2012-10-31

    申请号：CN201210135414.6

    申请日：2007-02-08

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 宫本敦 ,  长友涉 ,  松冈良一 ,  诸熊秀俊

    IPC: G01N23/225 ,  G03B42/00

    CPC classification number: G01N23/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2817

    Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

    扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法
    5.
    发明授权
    扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法 有权

    公开(公告)号：CN102760630B

    公开(公告)日：2015-09-23

    申请号：CN201210135364.1

    申请日：2007-02-08

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 宫本敦 ,  长友涉 ,  松冈良一 ,  诸熊秀俊

    IPC: H01J37/26 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

    CPC classification number: G01N23/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2817

    Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

    质量分析装置以及质量分析方法
    7.
    发明公开
    质量分析装置以及质量分析方法 有权

    公开(公告)号：CN104246489A

    公开(公告)日：2014-12-24

    申请号：CN201380021284.6

    申请日：2013-04-22

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 师子鹿司 ,  诸熊秀俊 ,  山田益义 ,  井上博之

    IPC: G01N27/62 ,  H01J49/26

    CPC classification number: H01J49/0022 ,  G01N33/493 ,  G06Q10/20 ,  G08B21/24 ,  H01J49/0027 ,  H01J49/025 ,  H01J49/26

    Abstract: 将可移动型质量分析装置带到试样采集现场来进行分析时，需要组入针对装置的误操作的对策。当需要对测定的每个试样变更分析条件时，需要实现不会产生误操作的质量分析装置。此外，为了防止误判定，当由于测定试样的污染等不能准确地进行测定试样的分析时，需要设置用于中止试样测定的判断基准，实施装置控制维护。当进行尿的测定时，质量分析装置自动地检测尿中含有的物质，自动判别是不是尿，自动地选择针对尿试样的固有分析条件后实施测定。同样地，对汗、唾液等选择固有分析条件。每次测定时自动判别是否正在测定在试样容器内含有内部标准试样的试样，自动地进行错误显示、测定中断等。对于装置良好状态的确认，每次判定装置维护的必要性。

    扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法
    8.
    发明公开
    扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法 有权

    公开(公告)号：CN102760630A

    公开(公告)日：2012-10-31

    申请号：CN201210135364.1

    申请日：2007-02-08

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 宫本敦 ,  长友涉 ,  松冈良一 ,  诸熊秀俊

    IPC: H01J37/26 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

    CPC classification number: G01N23/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2817

    Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

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