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公开(公告)号:CN102737951A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210031337.X
申请日:2012-02-13
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J49/0022 , H01J49/0013 , H05K7/20136
Abstract: 本发明提供一种排热效果及重量平衡良好的小型质量分析装置。该质量分析装置是将重量件配置在高度尺寸H小于横宽尺寸W且进深尺寸D小于该高度尺寸H的箱体(100)的中央,并在横宽方向的两侧设置将多个电路基板9(50)分散收放的电路基板收放部(60),该重量件包括:真空室(10);使该真空室(10)成为真空的真空泵(15);放入测定的试样并使其气化的试样插入部(30);使气化的试样离子化并提供给真空室(10)的离子化部;以及与真空室(10)连接的离子检测器(25)。
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公开(公告)号:CN102737951B
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201210031337.X
申请日:2012-02-13
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J49/0022 , H01J49/0013 , H05K7/20136
Abstract: 本发明提供一种排热效果及重量平衡良好的小型质量分析装置。该质量分析装置是将重量件配置在高度尺寸H小于横宽尺寸W且进深尺寸D小于该高度尺寸H的箱体(100)的中央,并在横宽方向的两侧设置将多个电路基板9(50)分散收放的电路基板收放部(60),该重量件包括:真空室(10);使该真空室(10)成为真空的真空泵(15);放入测定的试样并使其气化的试样插入部(30);使气化的试样离子化并提供给真空室(10)的离子化部;以及与真空室(10)连接的离子检测器(25)。
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