差压传感器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1036076A

    公开(公告)日:1989-10-04

    申请号:CN88108847

    申请日:1988-11-25

    Abstract: 本发明给出了一种能进行适当的静压补偿的差压传感器。该差压传感器包括有一个半导体敏感基片和一个半导体敏感基片牢固地装置在其上的固定用底座,其特征在于利用敏感基片和底座的杨氏弹性模置的不同来检测流体的差压,对敏感基片的一侧或两侧进行处理以形成一比其环绕着它的部位更薄的部位,从而使由静压荷载所产生的峰值应力出现在这一较薄部位中,并检测形成在这一较薄薄部位处的压阻型力敏电阻的阻抗变化。

    差压变送器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1015133B

    公开(公告)日:1991-12-18

    申请号:CN88108847

    申请日:1988-11-25

    Abstract: 本发明给出了一种能进行适当的静压补偿的差压变送器。该差压变送器包括有一个半导体传感器基片和一个半导体传感器基片牢固地装置在其上的固定用底座,其特征在于利用传感器基片和底座的杨氏弹性模量之差来检测流体的差压,对传感器基片的一侧或两侧进行处理以形成一比其环绕着它的部位更薄的部位,从而使由静压荷载所产生的峰值应力出现在这一较薄部位中,并检测形成在这一较薄薄部位处的压阻型力敏电阻的阻抗变化。

    整体式传感器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1168969A

    公开(公告)日:1997-12-31

    申请号:CN97110874.9

    申请日:1997-04-30

    Abstract: 第一玻璃基板具有一引导被测流体压力的第一压力入口,该基板是设置在压力传感器膜片的一侧,以用来测量差压。第二玻璃基板是设置在第一基板的相对侧,该两基板间夹设有一隔离件。第二基板上与第一玻璃基板上第一压力入口相对的位置上设有一第二压力入口。第一导电薄膜和第二导电薄膜分别形成在第一和第二玻璃基板的两个相对的表面上。通过测量在两导电薄膜之间的目标流体的电导率和介电常数等能表示流体品质的物理常数,就可以探测流体的品质,由此,可提供一个能利用一个传感发送装置同时测量差压(流速)及流体品质的整体式传感器。

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