公开(公告)号：CN1168969A

公开(公告)日：1997-12-31

申请号：CN97110874.9

申请日：1997-04-30

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 鹈饲征一 ,  庄司康则 ,  清水康司

IPC: G01D5/02 ,  G01F1/34

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01F1/383 ,  G01F23/18 ,  G01L19/0092 ,  G01L19/0627 ,  G01N33/18

Abstract: 第一玻璃基板具有一引导被测流体压力的第一压力入口，该基板是设置在压力传感器膜片的一侧，以用来测量差压。第二玻璃基板是设置在第一基板的相对侧，该两基板间夹设有一隔离件。第二基板上与第一玻璃基板上第一压力入口相对的位置上设有一第二压力入口。第一导电薄膜和第二导电薄膜分别形成在第一和第二玻璃基板的两个相对的表面上。通过测量在两导电薄膜之间的目标流体的电导率和介电常数等能表示流体品质的物理常数，就可以探测流体的品质，由此，可提供一个能利用一个传感发送装置同时测量差压(流速)及流体品质的整体式传感器。