公开(公告)号：CN107658242A

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201710618997.0

申请日：2017-07-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 三浦淳靖 ,  藤田和宏 ,  辻川裕贵 ,  土桥裕也 ,  竹本宪司

IPC: H01L21/67

CPC classification number: B08B3/14 ,  B08B3/08 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/67017

Abstract: 本发明涉及基板处理方法及装置，基板处理方法由基板处理装置执行，装置包括：回收杯，划分出引导使用过的药液的回收空间，回收配管，回收引导至回收空间的药液，排液配管，排出液体，切换单元，将液体在回收配管和排液配管间切换，方法包括：药液供给工序，向基板供给药液；经过期间测量工序，测量结束后经过期间；回收工序，在开始执行药液供给工序的情况下，在结束后经过期间小于第一期间时，将切换单元控制为，将液体向回收配管引导的回收导出状态；排液工序，在开始执行药液供给工序的情况下，在结束后经过期间为第一期间以上时，将切换单元控制为，将液体向排液配管引导的排液导出状态，并根据排液结束条件的成立，切换到回收导出状态。

公开(公告)号：CN115020272A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202111646596.9

申请日：2021-12-30

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 东克荣 ,  田村零央 ,  竹本宪司 ,  长尾大树

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置具备基板保持部、喷嘴(8)、第一供给管(114)、第一开闭部(111)、第一流量调节部(112)、第二供给管(124)和流量控制部(200)。第二供给管向喷嘴供给处理液。流量控制部对第一开闭部及第一流量调节部进行控制。流量控制部在第一期间内，在打开第一供给管的状态下对第一流量调节部的开度进行反馈控制，将第一流量调节部的开度决定为第一开度。流量控制部在第二期间内，在将第一流量调节部的开度设为第一开度的状态下，不对第一流量调节部的开度进行反馈控制地开闭第一供给管。第一期间是第二期间之前的期间。

公开(公告)号：CN107658242B

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201710618997.0

申请日：2017-07-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 三浦淳靖 ,  藤田和宏 ,  辻川裕贵 ,  土桥裕也 ,  竹本宪司

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基板处理方法及装置，基板处理方法由基板处理装置执行，装置包括：回收杯，划分出引导使用过的药液的回收空间，回收配管，回收引导至回收空间的药液，排液配管，排出液体，切换单元，将液体在回收配管和排液配管间切换，方法包括：药液供给工序，向基板供给药液；经过期间测量工序，测量结束后经过期间；回收工序，在开始执行药液供给工序的情况下，在结束后经过期间小于第一期间时，将切换单元控制为，将液体向回收配管引导的回收导出状态；排液工序，在开始执行药液供给工序的情况下，在结束后经过期间为第一期间以上时，将切换单元控制为，将液体向排液配管引导的排液导出状态，并根据排液结束条件的成立，切换到回收导出状态。