公开(公告)号：CN101779131A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200780100192.1

申请日：2007-09-27

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 今井大辅 ,  山下光夫 ,  筱原真 ,  寺本晃 ,  吉冈尚规

IPC: G01R31/00

CPC classification number: G09G3/006 ,  G01R31/309

Abstract: 在基于对规定时间宽度内的输入信号进行积分而获得的积分值来进行的数据处理中，在进行积分的前处理阶段，按照时间序列地将输入信号乘以参考信号，据此，按照时间序列地改变输入信号的信号电平，基于已改变的信号来产生数据信号。通过按照时间序列地改变输入信号的信号电平，来强调各输入信号的波形特征，从而获得反映出检测信号的时间性变化的积分值。可从积分值中对各检测信号的时间性变化进行分选，并可将测定对象的波形信号抽出。根据本发明来缩短数据处理时间，并简化数据处理的构成。

公开(公告)号：CN101461063A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200680054826.X

申请日：2006-08-01

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 中谷敦夫 ,  筱原真 ,  黑田晋一 ,  今井大辅

IPC: H01L27/12 ,  G01N21/88 ,  G01N23/225 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/66 ,  H01L23/52 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/136259 ,  G01N2021/9513 ,  H01L27/1214

Abstract: 一种基板检查及修正装置，包括：检查部，对形成着TFT阵列的基板进行缺陷检查；以及修正部，对缺陷阵列进行修正；且，利用检查部和修正部在同一腔室内对基板进行缺陷检查与缺陷修正。由此，使基板的移动的相关步骤简化，另外，使装置与中央系统服务器之间所进行的数据的发送接收步骤简化。更详细而言，由第一检查部来输出缺陷部位的像素坐标数据、和缺陷部位的缺陷类型的缺陷类型数据，由修正部根据第一检查部检测出的缺陷部位的像素坐标数据、和已确认的缺陷类型的缺陷类型数据，来对所述缺陷部位进行修正。第二检查部对基板的像素单位的TFT阵列的驱动状态进行检查，并输出TFT阵列的驱动状态数据，且对修正后的状态进行重新检查。

公开(公告)号：CN101461063B

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN200680054826.X

申请日：2006-08-01

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 中谷敦夫 ,  筱原真 ,  黑田晋一 ,  今井大辅

IPC: H01L27/12 ,  G01N21/88 ,  G01N23/225 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/66 ,  H01L23/52 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/136259 ,  G01N2021/9513 ,  H01L27/1214

Abstract: 一种基板检查及修正装置，包括：检查部，对形成着TFT阵列的基板进行缺陷检查；以及修正部，对缺陷阵列进行修正；且，利用检查部和修正部在同一腔室内对基板进行缺陷检查与缺陷修正。由此，使基板的移动的相关步骤简化，另外，使装置与中央系统服务器之间所进行的数据的发送接收步骤简化。更详细而言，由第一检查部来输出缺陷部位的像素坐标数据、和缺陷部位的缺陷类型的缺陷类型数据，由修正部根据第一检查部检测出的缺陷部位的像素坐标数据、和已确认的缺陷类型的缺陷类型数据，来对所述缺陷部位进行修正。第二检查部对基板的像素单位的TFT阵列的驱动状态进行检查，并输出TFT阵列的驱动状态数据，且对修正后的状态进行重新检查。