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公开(公告)号:CN102483340B
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201080039133.X
申请日:2010-09-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/698
CPC classification number: G01F1/698 , G01F1/6847
Abstract: 为了防止质量流量的变化对流量传感器的输出造成影响并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正从而提高线性,本发明的流量传感器包括流量计算部(41),该流量计算部(41)在将与位于上游侧的电阻体(2u)对应的恒温控制电路(3u)的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体(2d)对应的恒温控制电路(3d)的输出设为Vd、且将流体的流量设为Q时,基于使用了至少在某流量Q的范围内满足式数学式9的Xd/Xu的数学式10,算出流量Q,所述流量计算部41通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数OFS,对作为流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。
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公开(公告)号:CN102483340A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080039133.X
申请日:2010-09-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/698
CPC classification number: G01F1/698 , G01F1/6847
Abstract: 为了防止质量流量的变化对流量传感器的输出造成影响并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正从而提高线性,本发明的流量传感器包括流量计算部(41),该流量计算部(41)在将与位于上游侧的电阻体(2u)对应的恒温控制电路(3u)的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体(2d)对应的恒温控制电路(3d)的输出设为Vd、且将流体的流量设为Q时,基于使用了至少在某流量Q的范围内满足式数学式9的Xd/Xu的数学式10,算出流量Q,所述流量计算部41通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数OFS,对作为流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。
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