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公开(公告)号：CN113391652A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110264283.0
申请日：2021-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量诊断装置、流量诊断方法和程序存储介质。即使是PVTt法，与以往相比也能缩短流量诊断所需的时间，且能实现容器的小型化、大流量下的诊断。流量诊断装置包括：主线路，设置有具有预定容量的容器；分支线路，在所述主线路中从所述容器的上游侧分支；第一开闭阀，设置在所述分支线路上；第二开闭阀，设置在所述主线路上；死区容积，是将诊断对象规定为上游端、将所述第一开闭阀和所述第二开闭阀规定为下游端的容积；以及第二压力控制机构，在实施了所述准备模式之后，在关闭第一开闭阀且打开所述第二开闭阀而使流体流入所述容器的流入模式中，控制流过所述主线路的流体，以将所述死区容积内的流体的压力保持为第二设定压力。
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公开(公告)号：CN117588468A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202310964369.3
申请日：2023-08-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体阻力元件、流体控制装置和流体阻力元件的制造方法。为了能够在享受陶瓷制的流体阻力元件带来的优点的同时，将该流体阻力元件固定于流路，流体阻力元件具备：具有1个或多个阻力流路(10a)的陶瓷制的流路形成部件(10)；以及覆盖流路形成部件(10)的外周面(11)的金属制的包覆部件(20)，在包覆部件(20)的内周面(25)设置有朝向流路形成部件(10)的外周面(11)鼓出的鼓出部(26)。
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公开(公告)号：CN113391652B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202110264283.0
申请日：2021-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量诊断装置、流量诊断方法和程序存储介质。即使是PVTt法，与以往相比也能缩短流量诊断所需的时间，且能实现容器的小型化、大流量下的诊断。流量诊断装置包括：主线路，设置有具有预定容量的容器；分支线路，在所述主线路中从所述容器的上游侧分支；第一开闭阀，设置在所述分支线路上；第二开闭阀，设置在所述主线路上；死区容积，是将诊断对象规定为上游端、将所述第一开闭阀和所述第二开闭阀规定为下游端的容积；以及第二压力控制机构，在实施了所述准备模式之后，在关闭第一开闭阀且打开所述第二开闭阀而使流体流入所述容器的流入模式中，控制流过所述主线路的流体，以将所述死区容积内的流体的压力保持为第二设定压力。
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