-
-
公开(公告)号:CN107329367B
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN201710335649.2
申请日:2012-12-06
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/30 , G03F7/32 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/29 , C08G8/22 , C08G16/02 , C08G61/02 , C08G61/12 , C08L61/12 , C08L65/00
Abstract: 一种感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置。本发明提供含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中,X、R1~R7、m1~m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]
-
公开(公告)号:CN107077067A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201580049650.8
申请日:2015-09-24
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038 , G03F7/09 , G03F7/20 , G03F7/322
Abstract: 本发明提供感光性树脂层层压在支承薄膜上而得到的感光性树脂层压体,所述感光性树脂层包含(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂,感光性树脂层压体用于形成导体部的保护膜,感光性树脂层的厚度为20μm以下,且感光性树脂层的固化物满足下述(1)~(3)的条件:(1)交联密度为1,000mol/m3~8,000mol/m3;(2)Tanδ的峰顶值为0.4以上;以及(3)波长532nm下的折射率为1.50~1.60。
-
公开(公告)号:CN119213364A
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202380041310.5
申请日:2023-03-30
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F290/14 , G03F7/004 , G03F7/075
Abstract: 根据本发明,提供具有低介电特性、低固化收缩、及良好的保存稳定性、涂布时的相分离减少、能够形成高分辨率且具有高的铜密合性的固化浮雕图案的感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜。本发明的感光性树脂组合物包含:100质量份的包含聚酰亚胺及聚酰亚胺前体的共聚树脂、0.5~30质量份的光聚合引发剂、及100~1000质量份的溶剂。共聚树脂具有特定结构的聚酰亚胺嵌段部分、及聚酰亚胺前体嵌段部分,上述包含聚酰亚胺及聚酰亚胺前体的共聚树脂满足0.10<n2/(n2+n3)<0.90。
-
公开(公告)号:CN107077067B
公开(公告)日:2021-04-13
申请号:CN201580049650.8
申请日:2015-09-24
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂层层压在支承薄膜上而得到的感光性树脂层压体,所述感光性树脂层包含(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂,感光性树脂层压体用于形成导体部的保护膜,感光性树脂层的厚度为20μm以下,且感光性树脂层的固化物满足下述(1)~(3)的条件:(1)交联密度为1,000mol/m3~8,000mol/m3;(2)Tanδ的峰顶值为0.4以上;以及(3)波长532nm下的折射率为1.50~1.60。
-
公开(公告)号:CN107329367A
公开(公告)日:2017-11-07
申请号:CN201710335649.2
申请日:2012-12-06
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/30 , G03F7/32 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/29 , C08G8/22 , C08G16/02 , C08G61/02 , C08G61/12 , C08L61/12 , C08L65/00
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G8/22 , C08G16/0225 , C08G61/02 , C08G61/127 , C08G61/128 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C08L61/12 , C08L65/00 , G03F7/0045 , G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/023 , G03F7/0236 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0384 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , G03F7/322 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/293
Abstract: 一种感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置。本发明提供含有(A-1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中,X、R1~R7、m1~m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]
-
-
-
-
-