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公开(公告)号:CN115185157A
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN202210744394.6
申请日:2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C08K5/33 , C08K5/375 , C08L77/00 , C09D179/08
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号:CN113820920B
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202111074739.3
申请日:2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C09D179/08 , C08L77/00
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号:CN108475020A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201780004863.8
申请日:2017-08-17
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 一种负型感光性树脂组合物,其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层,所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份~20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂,(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐,(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。
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公开(公告)号:CN115755526A
公开(公告)日:2023-03-07
申请号:CN202211288409.9
申请日:2017-08-17
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/004 , C08G73/10 , C08G73/12 , C08G73/22 , G03F7/20 , G03F7/30 , G03F7/40 , H01L21/027
Abstract: 一种负型感光性树脂组合物,其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层,所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份~20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂,(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐,(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。
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公开(公告)号:CN107850844A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201780002139.1
申请日:2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号:CN107329367A
公开(公告)日:2017-11-07
申请号:CN201710335649.2
申请日:2012-12-06
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/30 , G03F7/32 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/29 , C08G8/22 , C08G16/02 , C08G61/02 , C08G61/12 , C08L61/12 , C08L65/00
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G8/22 , C08G16/0225 , C08G61/02 , C08G61/127 , C08G61/128 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C08L61/12 , C08L65/00 , G03F7/0045 , G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/023 , G03F7/0236 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0384 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , G03F7/322 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/293
Abstract: 一种感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置。本发明提供含有(A-1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中,X、R1~R7、m1~m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]
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公开(公告)号:CN113820920A
公开(公告)日:2021-12-21
申请号:CN202111074739.3
申请日:2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C09D179/08 , C08L77/00
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号:CN107329367B
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN201710335649.2
申请日:2012-12-06
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/30 , G03F7/32 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/29 , C08G8/22 , C08G16/02 , C08G61/02 , C08G61/12 , C08L61/12 , C08L65/00
Abstract: 一种感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置。本发明提供含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中,X、R1~R7、m1~m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]
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