公开(公告)号：CN103988127B

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201280060449.6

申请日：2012-12-06

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 涩井智史 ,  平田龙也 ,  佐佐木隆弘 ,  山田泰辅

IPC: G03F7/023 ,  C08G61/00 ,  C08L65/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中，X、R1～R7、m1～m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]

公开(公告)号：CN107329367A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710335649.2

申请日：2012-12-06

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 涩井智史 ,  平田龙也 ,  佐佐木隆弘 ,  山田泰辅

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/29 ,  C08G8/22 ,  C08G16/02 ,  C08G61/02 ,  C08G61/12 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/22 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/02 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293

Abstract: 一种感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置。本发明提供含有(A-1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中，X、R1～R7、m1～m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]

公开(公告)号：CN107329367B

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN201710335649.2

申请日：2012-12-06

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 涩井智史 ,  平田龙也 ,  佐佐木隆弘 ,  山田泰辅

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/29 ,  C08G8/22 ,  C08G16/02 ,  C08G61/02 ,  C08G61/12 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00

Abstract: 一种感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置。本发明提供含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中，X、R1～R7、m1～m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]