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公开(公告)号:CN1286918C
公开(公告)日:2006-11-29
申请号:CN01806148.6
申请日:2001-03-06
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C08L101/00 , C08L79/08 , H01L21/768 , H01L21/312 , H01L23/14
CPC classification number: H01L21/02118 , G03F7/0387 , H01L21/02126 , H01L21/02216 , H01L21/02282 , H01L21/312 , H01L21/3122 , H01L23/5329 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物,其特征为含有(A)在室温可溶于溶剂的耐热性树脂,(B)在室温不溶于溶剂,但经过加热即可溶于溶剂的耐热性树脂,和(C)溶剂,更进一步,是一种含有(D)显示橡胶弹性的粒子或液状物D所成的耐热性树脂膏、及使用该树脂组合物、耐热性树脂膏的半导体器件及其制造方法。
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公开(公告)号:CN1416452A
公开(公告)日:2003-05-07
申请号:CN01806148.6
申请日:2001-03-06
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C08L101/00 , C08L79/08 , H01L21/768 , H01L21/312 , H01L23/14
CPC classification number: H01L21/02118 , G03F7/0387 , H01L21/02126 , H01L21/02216 , H01L21/02282 , H01L21/312 , H01L21/3122 , H01L23/5329 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物,其特征为含有(A)在室温可溶于溶剂的耐热性树脂,(B)在室温不溶于溶剂,但经过加热即可溶于溶剂的耐热性树脂,和(C)溶剂,更进一步,是一种含有(D)显示橡胶弹性的粒子或液状物D所成的耐热性树脂膏、及使用该树脂组合物、耐热性树脂膏的半导体器件及其制造方法。
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