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公开(公告)号：CN111383973B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN201910783397.9
申请日：2019-08-23
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种基板保持装置，能够避免使装置整体大型化且高成本而将基板从基板保持架抬起。基板保持装置具备：保持基板(W)的基板保持架(3)；使基板保持架(3)旋转的旋转机构(10)；多个升降销(P)，在位于比基板保持架(3)的基板载置面(3a)靠下方处的退避位置(x)与从该基板载置面(3a)突出的突出位置(y)之间升降移动；及动力传递机构(20)，介于旋转机构(10)与升降销(P)之间设置，将旋转机构(10)的使基板保持架(3)旋转的动力变换为使升降销(P)在退避位置(x)与突出位置(y)之间移动的动力而向升降销(P)传递。
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公开(公告)号：CN107833818B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201710521360.X
申请日：2017-06-30
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J27/14
Abstract: 本发明提供一种离子源，不需要用于将支承基体保持在所希望的位置的止动件或控制就能将支承基体简单地保持在所希望的位置。在等离子体生成室周围配置永磁铁的离子源具备：阴极，插通于等离子体生成室内，向等离子体生成室内放出电子；支承基体，设置于等离子体生成室外部而支承阴极；驱动机构，使支承基体向从等离子体生成室的外壁面拉开的方向移动；以及伸缩部件，介于支承基体与等离子体生成室的外壁面之间并覆盖贯通孔的周围，将支承基体与等离子体生成室的外壁面之间的空间保持为气密，被驱动机构的驱动力从等离子体生成室的外壁面拉开的处于后退位置的支承基体被吸引力向相比后退位置靠等离子体生成室的外壁面处拉近而被保持在前进位置。
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公开(公告)号：CN108573842A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201711143287.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。
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公开(公告)号：CN109516106B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201711143720.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111755301A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010166744.6
申请日：2020-03-11
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明涉及一种质量分离器，课题在于可在不使作业变得繁重下进行束路径的清扫等维护。本发明为一种对离子束(IB)进行质量分离的质量分离器(100)，该质量分离器具备：移动机构(30)，用以使属于包围束路径(L)的由磁性体所构成的磁轭(13)的构成要素的位于束路径(L)的上方、下方或侧方的上部磁轭(13a)、下部磁轭(13b)或侧方磁轭(13c、d)的至少任一者，于离子束(IB)的行进中的通常位置(P)与不和通常位置(P)的至少一部分重叠的退避位置(Q)之间移动。
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公开(公告)号：CN108735564B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201711224060.1
申请日：2017-11-29
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种定位销及离子源，所述定位销的固定结构得到了简化。所述定位销(P)用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装，在定位销(P)的长边方向的两个端部中，在第一端部(11)形成有螺丝(S)，与第一端部(11)相反侧的第二端部(12)为锥形。
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公开(公告)号：CN105575754A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510548657.6
申请日：2015-08-31
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J49/20
CPC classification number: H01J49/30 , H01J37/05 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J49/20 , H01J2237/055 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。
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公开(公告)号：CN116072490A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202210850031.0
申请日：2022-07-19
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/30 , H01J37/317
Abstract: 本发明涉及一种基板固定装置，其能够实现马达的小型化，并且能够精密地控制基板相对于离子束的倾斜。本发明的基板固定装置具备：固定架，其固定被照射离子束的基板；以及驱动机构，其使固定架绕规定的轴旋转，来改变所固定的基板相对于离子束的倾斜；驱动机构具备：动力源，其输出使固定架旋转的动力；减速器，其设置于从动力源到固定架的动力传递路径的中途；第一轴部件，其通过从减速器输出的动力而与固定架一起旋转；第一检测器，其检测第一轴部件的旋转动作；以及动力控制部，其基于第一检测器的检测值控制动力源。
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公开(公告)号：CN111383973A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201910783397.9
申请日：2019-08-23
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种基板保持装置，能够避免使装置整体大型化且高成本而将基板从基板保持架抬起。基板保持装置具备：保持基板(W)的基板保持架(3)；使基板保持架(3)旋转的旋转机构(10)；多个升降销(P)，在位于比基板保持架(3)的基板载置面(3a)靠下方处的退避位置(x)与从该基板载置面(3a)突出的突出位置(y)之间升降移动；及动力传递机构(20)，介于旋转机构(10)与升降销(P)之间设置，将旋转机构(10)的使基板保持架(3)旋转的动力变换为使升降销(P)在退避位置(x)与突出位置(y)之间移动的动力而向升降销(P)传递。
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