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公开(公告)号：CN109819570A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201810825295.4
申请日：2018-07-25
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H05F3/04 , H01L21/265 , B65G49/06
Abstract: 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。
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公开(公告)号：CN108573842A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201711143287.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。
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公开(公告)号：CN102262998B
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201110126157.5
申请日：2011-05-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01L21/68 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，能够大幅度提高单位时间可处理基板的张数和单位时间的离子注入量，此外，能够应对近年来基板的大型化，以防止装置整体过大。离子注入装置包括：运送机构(3)，具有相互分离且平行的一对轨道(31、32)，沿着各所述轨道(31、32)使同一形状的基板(2)的面板部与所述轨道(31、32)平行、且使各轨道上的各基板(2)保持相互平行的姿势，并且使各基板(2)分别向相反方向前进；以及一对离子束照射机构(5)，从与所述面板部垂直的方向观察，当各轨道上的基板(2)到达规定的重合位置时，各所述基板(2)基本重合，并且各离子束(B)避开位于所述重合位置的基板、且分别通过所述基板(2)的前进方向一侧和与前进方向相反一侧。
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公开(公告)号：CN109817546A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201711372925.9
申请日：2017-12-19
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H05B33/10 , H05F3/04 , G02F1/13
Abstract: 本发明涉及一种具有静电消除装置的平面面板显示器制造装置，该静电消除装置适于在高真空下的玻璃基板的静电消除。平面面板显示器制造装置(ID)具备有：处理舱室(1)，其对玻璃基板(S)施予加工处理；以及搬运路径(3)，其形成将玻璃基板(S)搬入或搬出处理舱室(1)的搬入搬出路径；其中，处理舱室(1)及搬运路径(3)为处于真空环境下，且静电消除装置(O)连接于构成搬运路径(3)的真空容器的外壁面，该静电消除装置(O)朝向真空容器的内侧释放玻璃基板(S)的静电消除用的电子。
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公开(公告)号：CN101921990B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200910261623.3
申请日：2009-12-18
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: C23C14/48
CPC classification number: H01L21/67213 , H01J37/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/204 , H01J2237/31701 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，能统一对多个基板进行离子注入，且使各基板面内的离子注入量分布均匀。该离子注入装置包括：注入室(8)，被导入离子束(4)；托架(12)，把基板(10)沿X方向保持在第一列和第二列两列上；托架驱动装置(16)，能使托架(12)成水平状态且位于基板交换位置(48)，还能使托架(12)成立起状态，在离子束(4)的照射区域沿X方向往复直线驱动托架(12)。还具有两个加载互锁机构(20a，20b)、以及两个基板输送装置(30a，30b)，基板输送装置(30a，30b)各具有两个在各加载互锁机构(20a，20b)与基板交换位置(48)之间输送基板(10)的臂(32a～32d)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102262998A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201110126157.5
申请日：2011-05-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，能够大幅度提高单位时间可处理基板的张数和单位时间的离子注入量，此外，能够应对近年来基板的大型化，以防止装置整体过大。离子注入装置包括：运送机构(3)，具有相互分离且平行的一对轨道(31、32)，沿着各所述轨道(31、32)使同一形状的基板(2)的面板部与所述轨道(31、32)平行、且使各轨道上的各基板(2)保持相互平行的姿势，并且使各基板(2)分别向相反方向前进；以及一对离子束照射机构(5)，从与所述面板部垂直的方向观察，当各轨道上的基板(2)到达规定的重合位置时，各所述基板(2)基本重合，并且各离子束(B)避开位于所述重合位置的基板、且分别通过所述基板(2)的前进方向一侧和与前进方向相反一侧。
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公开(公告)号：CN109516106B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201711143720.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。
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公开(公告)号：CN105575754A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510548657.6
申请日：2015-08-31
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J49/20
CPC classification number: H01J49/30 , H01J37/05 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J49/20 , H01J2237/055 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。
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公开(公告)号：CN101921990A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200910261623.3
申请日：2009-12-18
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: C23C14/48
CPC classification number: H01L21/67213 , H01J37/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/204 , H01J2237/31701 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，能统一对多个基板进行离子注入，且使各基板面内的离子注入量分布均匀。该离子注入装置包括：注入室(8)，被导入离子束(4)；托架(12)，把基板(10)沿X方向保持在第一列和第二列两列上；托架驱动装置(16)，能使托架(12)成水平状态且位于基板交换位置(48)，还能使托架(12)成立起状态，在离子束(4)的照射区域沿X方向往复直线驱动托架(12)。还具有两个加载互锁机构(20a，20b)、以及两个基板输送装置(30a，30b)，基板输送装置(30a，30b)各具有两个在各加载互锁机构(20a，20b)与基板交换位置(48)之间输送基板(10)的臂(32a～32d)。
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公开(公告)号：CN109819570B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201810825295.4
申请日：2018-07-25
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: G02F1/13 , H05F3/04 , H01L21/265
Abstract: 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。
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