-
公开(公告)号：CN107104030A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201610838817.5
申请日：2016-09-21
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种离子束照射装置，与以往相比能够使包含在离子束中的不需要的离子减少。该离子束照射装置包括：离子源(2)；质量分离器(3)，从由离子源(2)引出的离子束(IB)中挑选并导出确定的质量和价数的掺杂离子；以及能量过滤器，形成离子束(IB)通过的束通过区域，并且通过被施加过滤器电压(VF)而成为规定的过滤器电位(Vfil)，利用离子的能量差，区分通过所述束通过区域的通过离子和不通过所述束通过区域的非通过离子，以使所述通过离子中包含所述掺杂离子并且使所述非通过离子中包含在质量分离器(3)中不能与所述掺杂离子区分的不需要的离子的至少一部分的方式设定过滤器电位(Vfil)。
-
公开(公告)号：CN101467228A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780021880.9
申请日：2007-06-12
Applicant: 国立大学法人京都大学 , 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/026 , H01J2237/0041 , H01J2237/31701
Abstract: 一种具有场发射电子源(10)的离子辐射装置，其中，所述场发射电子源(10)设置在离子束(2)的路径的附近并且发射电子(12)。场发射电子源(10)以一个方向设置，沿着该方向，由从电子源(10)发射的电子(12)与平行于离子束(2)的行进方向的方向所形成的入射角处于－15度至+45度的范围内(离子束(2)的内向方向是“+”，以及其外向方向是“－”)。
-
公开(公告)号：CN107104030B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201610838817.5
申请日：2016-09-21
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种离子束照射装置，与以往相比能够使包含在离子束中的不需要的离子减少。该离子束照射装置包括：离子源(2)；质量分离器(3)，从由离子源(2)引出的离子束(IB)中挑选并导出确定的质量和价数的掺杂离子；以及能量过滤器，形成离子束(IB)通过的束通过区域，并且通过被施加过滤器电压(VF)而成为规定的过滤器电位(Vfil)，利用离子的能量差，区分通过所述束通过区域的通过离子和不通过所述束通过区域的非通过离子，以使所述通过离子中包含所述掺杂离子并且使所述非通过离子中包含在质量分离器(3)中不能与所述掺杂离子区分的不需要的离子的至少一部分的方式设定过滤器电位(Vfil)。
-
公开(公告)号：CN101467228B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200780021880.9
申请日：2007-06-12
Applicant: 国立大学法人京都大学 , 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/026 , H01J2237/0041 , H01J2237/31701
Abstract: 一种具有场发射电子源(10)的离子辐射装置，其中，所述场发射电子源(10)设置在离子束(2)的路径的附近并且发射电子(12)。场发射电子源(10)以一个方向设置，沿着该方向，由从电子源(10)发射的电子(12)与平行于离子束(2)的行进方向的方向所形成的入射角处于-15度至+45度的范围内(离子束(2)的内向方向是“+”，以及其外向方向是“-”)。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.023 seconds)
